阴极模组及真空镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112593215A(43)申请公布日2021.04.02(21)申请号202110238613.9(22)申请日2021.03.04(71)申请人苏州迈正科技有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧(72)发明人李王俊曹新民陈晨周剑张斌王登志陈志伟(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人刘宁(51)Int.Cl.C23C16/505(2006.01)C23C16/44(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称阴极模组及真空镀膜装置(57)摘要本发明涉及一种阴极模组及真空镀膜装置，阴极模组包括阴极单元、固定板、至少一个第一加热单元以及多个第一绝缘垫，其中：第一加热单元和阴极单元分别固定在固定板相对的两侧，且阴极单元和固定板之间设置有所述第一绝缘垫，第一加热单元加热阴极单元，使得反应气体在进行反应之前被预热，以使反应气体的活性提高，并且使得阴极单元的表面维持在一定温度，能够有效抑制黄粉的产生，降低了腔体的清洗频率，从而能够提高真空镀膜的产品良率，提升设备的开动率和产量，第一绝缘垫能够将第一加热单元和阴极单元之间隔开一定的缝隙，并进行绝缘，提高了安全性，减小阴极单元和固定板之间的电容，避免阴极单元和固定板之间的气体被击穿产生辉光放电。CN112593215ACN112593215A权利要求书1/1页1.一种阴极模组，其特征在于，包括阴极单元、固定板、至少一个第一加热单元以及多个第一绝缘垫，其中：所述第一加热单元和所述阴极单元分别固定在所述固定板相对的两侧，且所述阴极单元和所述固定板之间设置有所述第一绝缘垫。2.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，阴极模组工作温度在50℃‑450℃的范围内。3.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述固定板上设有沟槽，所述第一加热单元嵌设于所述沟槽，且与所述固定板铆接固定。4.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，还包括至少一个第一热电偶，所述第一热电偶固定在所述固定板背离所述阴极单元的一侧，且靠近所述第一加热单元设置。5.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，所述阴极单元与所述固定板之间的间隙为1mm‑20mm。6.根据权利要求1所述的阴极模组，其特征在于，还包括衬板、第二加热单元以及多个第二绝缘垫，所述衬板垂直于所述固定板，且设置在所述阴极单元四周，所述第二加热单元固定在所述衬板背离所述阴极单元的一侧，且设置在所述阴极单元的四周，所述第二绝缘垫的一部分嵌入设置在所述阴极单元靠近所述衬板的表面，且另一部分嵌入设置在所述衬板靠近所述阴极单元的表面。7.根据权利要求6所述的阴极模组，其特征在于，所述衬板内具有至少一个第二热电偶，且所述第二热电偶靠近所述阴极单元设置。8.根据权利要求6所述的阴极模组，其特征在于，所述第二加热单元的外侧罩设有保护壳，所述保护壳背离所述第二加热单元的外表面的材质包括铝、镍、铝合金、蒙乃尔合金的一种或多种。9.根据权利要求6所述的阴极模组，其特征在于，所述第一加热单元和所述第二加热单元均为电阻式加热丝，或，所述第一加热单元和所述第二加热单元均包括壳体、设置在所述壳体内的热传导液以及设置于所述壳体外的外置换热器。10.根据权利要求6所述的阴极模组，其特征在于，所述第一绝缘垫为陶瓷垫，和/或，所述第二绝缘垫为陶瓷垫。11.根据权利要求6所述的阴极模组，其特征在于，所述衬板和所述阴极单元之间的间隙可以为1mm‑20mm。12.一种真空镀膜装置，包括腔体，其特征在于，还包括如权利要求1‑11任一项所述的阴极模组，所述阴极单元通过贯穿所述固定板，至少部分第一绝缘垫的螺钉锁附在所述腔体的顶壁。2CN112593215A说明书1/7页阴极模组及真空镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种阴极模组及真空镀膜装置。背景技术[0002]真空镀膜是在真空条件下，对薄膜器件镀膜的工艺过程，在镀膜生产过程中，尤其是PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜生产过程中，反应气体从阴极喷淋头进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。[0003]现有的阴极一般情况下在低温约200℃下完成辉光放电以及反应气体分解这一过程，但是在温度偏低时，阴极存在辉光放电中气体反应不充分的情况；并且在低温下