真空镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111962039A(43)申请公布日2020.11.20(21)申请号202010676902.2(22)申请日2020.07.14(71)申请人苏州迈正科技有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧(72)发明人徐文涛陈晨李王俊孙健周剑刘亚南(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人刘宁(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图4页(54)发明名称真空镀膜装置(57)摘要本发明涉及一种真空镀膜装置，包括真空腔室以及固定于真空腔室的导电机构、多个滚轮机构，真空腔室内具有输送方向，其中：多个滚轮机构沿输送方向阵列分布，每一滚轮机构包括第一驱动单元及滚轮，第一驱动单元具有穿过真空腔室的侧壁的第一输出轴，滚轮安装于第一输出轴位于真空腔室内侧的端部，且具有至少一个环绕第一输出轴的缓冲圈；导电机构包括第二驱动单元、导电部及多个接地带，导电部与第二驱动单元传动连接，具有可与载板相接触的导电面，每一接地带的一端固定于第二驱动单元且与导电部在处于镀膜状态时电连接，另一端固定于真空腔室且与真空腔室在处于镀膜状态时电连接，具有收缩状态和展开状态；载板震动较小，镀膜放电稳定性较好。CN111962039ACN111962039A权利要求书1/2页1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空腔室以及固定于所述真空腔室的导电机构、多个滚轮机构，所述真空腔室内具有输送方向，其中：多个所述滚轮机构沿所述输送方向阵列分布，每一所述滚轮机构包括第一驱动单元及滚轮，所述第一驱动单元具有穿过所述真空腔室的侧壁的第一输出轴，所述滚轮安装于所述第一输出轴位于所述真空腔室内侧的端部，且具有至少一个环绕所述第一输出轴的缓冲圈；所述导电机构包括第二驱动单元、导电部及多个接地带，所述导电部与所述第二驱动单元传动连接，具有可与载板相接触的导电面，每一所述接地带的一端固定于所述第二驱动单元且与所述导电部在处于镀膜状态时电连接，另一端固定于所述真空腔室且与所述真空腔室在处于镀膜状态时电连接，具有收缩状态和展开状态。2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述滚轮上开设有至少一个环绕所述第一输出轴的凹槽，所述缓冲圈嵌设在所述凹槽内，且沿所述滚轮的径向方向，所述缓冲圈背离所述凹槽槽底的表面的高度大于或等于所述滚轮上未设置凹槽的外表面的高度。3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述滚轮包括本体，每一所述本体上套设有至少一个所述缓冲圈。4.根据权利要求1-3任一项所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述缓冲圈的材料包括氟化橡胶、全氟橡胶、高氟橡胶中的一种或多种。5.根据权利要求1-3任一项所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括同步轮、磁力转轴，所述磁力转轴穿过所述真空腔室的侧壁，且位于所述真空腔室内侧的端部形成所述第一输出轴，位于所述真空腔室外侧的端部安装有同步轮，多个所述同步轮通过同步带带动。6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第二驱动单元包括第一电机、磁流体、齿轮、两个齿条及两个滑动导杆，其中：所述磁流体穿过所述真空腔室的底壁，且位于所述真空腔室外侧的端部固定于所述第一电机的伸出端，位于所述真空腔室内侧的端部固定有所述齿轮；两个所述滑动导杆相对设置，每一所述滑动导杆的一端安装有一所述齿条，且另一端安装有所述导电部及所述接地带；两个所述齿条分别与所述齿轮相啮合。7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述滑动导杆远离所述齿条的一端设有导电框架，所述导电框架位于所述滚轮的外侧，其中：所述导电框架包括第一板体、第二板体以及第三板体，所述第一板体与所述第二板体间隔设置，且通过所述第三板体相连接，所述第一板体的延伸方向与所述输送方向相平行，且与所述齿条的延伸方向相垂直，所述第二本体与所述滑动导杆相连接；所述导电部包括多个导电弹片，多个所述导电弹片沿所述输送方向阵列分布，每一所述导电弹片的两端通过螺钉与所述第一板体固定连接，且除两端之外相邻于所述第一板体的表面与所述第一板体之间具有间隙，位于所述第一板体上的多个所述导电弹片背离所述第一板体的部分表面形成所述导电面；所述接地带的一端锁附于所述第二板体，且另一端锁附于所述真空腔室的底壁。8.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第二驱动单元包括两个位于2CN111962039A权利要求书2/2页所述滚轮背离所述载板一侧的第一驱动机构，每一所述第一驱动机构包括第二电机、丝杆、波纹管、顶升杆及导电板，其中：所述丝杆的一端固定于所述第二电机的伸出端，且另一端上固