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体声波谐振器.pdf
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体声波谐振器.pdf
本发明实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成。本发明实施例的技术方案，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻
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一种体声波谐振器的制造工艺和体声波谐振器.pdf
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