一种体声波谐振器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110417375A(43)申请公布日2019.11.05(21)申请号201910818904.8(22)申请日2019.08.30(71)申请人迈感微电子（上海）有限公司地址201313上海市浦东新区万祥镇宏祥北路83弄1-42号20幢118室(72)发明人缪建民张瑞珍(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332代理人孟金喆(51)Int.Cl.H03H3/02(2006.01)H03H9/02(2006.01)H03H9/15(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种体声波谐振器(57)摘要本发明实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括：第一电极、压电层以及第二电极，所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间；所述压电层设置有至少一个开缝，沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝至少贯穿所述压电层。本发明实施例的方案减少了横向驻波的产生，从而降低了噪声，提升了体声波谐振器的性能。CN110417375ACN110417375A权利要求书1/1页1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：第一电极、压电层以及第二电极，所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间；所述压电层设置有至少一个开缝，沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝至少贯穿所述压电层。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于：沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝贯穿所述第一电极和所述第二电极。3.根据权利要求1或2所述的体声波谐振器，其特征在于：所述开缝在所述第一电极上的垂直投影与所述压电层在所述第一电极上的垂直投影的任意边均不平行。4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：所述开缝在所述第一电极上的垂直投影的形状包括矩形、椭圆形或梯形。5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：所述开缝在所述第一电极的垂直投影的宽度的取值范围为5微米-15微米。6.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：所述压电层设置有至少两个开缝。7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于：所述至少两个开缝互相不平行。8.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于：所述至少两个开缝不对称。9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于：所述谐振器在所述第一电极的垂直投影的形状为圆形、正方形或长方形。2CN110417375A说明书1/4页一种体声波谐振器技术领域[0001]本发明实施例涉及谐振技术，尤其涉及一种体声波谐振器。背景技术[0002]薄膜腔声谐振(FilmBulkAcousticResonator,FBAR)滤波器是微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)产品中市场最大的一类产品，广泛应用于手机等射频数据通讯产品中，特别是5G通讯产品中。用于射频FBAR滤波器的理想体声波谐振器是由上电极、压电层和下电极组成的声学堆，该谐振器具有小尺寸、性能好、适用于集成电路晶圆大批量生产等优点。[0003]体声波谐振器激发厚度方向的纵向模，该纵向模态是决定谐振器频率、品质因素等主要参数。然而现有的体声波谐振器在工作过程中还会产生横向模，形成噪声，影响体声波谐振器的性能。因此减少噪声成为目前体声波谐振器领域亟待解决的问题。发明内容[0004]本发明提供一种体声波谐振器，以减少横向驻波的产生，从而降低噪声，提升体声波谐振器的性能。[0005]本发明实施例提供了一种体声波谐振器，包括：[0006]第一电极、压电层以及第二电极，所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间；[0007]所述压电层设置有至少一个开缝，沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝至少贯穿所述压电层。[0008]可选的，沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝贯穿所述第一电极和所述第二电极。[0009]可选的，所述开缝在所述第一电极上的垂直投影与所述压电层在所述第一电极上的垂直投影的任意边均不平行。[0010]可选的，所述开缝在所述第一电极上的垂直投影的形状包括矩形、椭圆形或梯形。[0011]可选的，所述开缝在所述第一电极的垂直投影的宽度的取值范围为5微米-15微米。[0012]可选的，所述压电层设置有至少两个开缝。可选的，所述至少两个开缝互相不平行。[0013]可选的，所述至少两个开缝不对称。[0014]可选的，所述谐振器在所述第一电极的垂直投影的形状为圆形、正方形或长方形。[0015]本发明实施例通过在压电层设置至少一个开缝，且沿第一电极指向第二电极的方向，开缝至少贯穿压电层，开缝可以对横向声波起到一定的反射作用，可以减小横向驻波的产生，从而降低噪声，提升体声波谐振器的性能。3CN