液晶显示器的母基板及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102097440A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102097440A(43)申请公布日2011.06.15(21)申请号201010577028.3(22)申请日2010.10.29(30)优先权数据10-2009-01043722009.10.30KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人崔壹万金容敏(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉吕俊刚(51)Int.Cl.H01L27/12(2006.01)H01L21/77(2006.01)G02F1/1362(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图6页(54)发明名称液晶显示器的母基板及其制造方法(57)摘要本发明提供了一种液晶显示器的母基板，该母基板包括多个有源矩阵阵列、连接到有源矩阵阵列的测试线、连接到测试线的测试焊盘和将测试线彼此连接起来的连接线。CN102974ACCNN110209744002097450A权利要求书1/1页1.一种液晶显示器的母基板，该母基板包括：多个有源矩阵阵列；连接到所述有源矩阵阵列的测试线；连接到所述测试线的测试焊盘；和将所述测试线彼此连接起来的第一连接线。2.根据权利要求1所述的母基板，其中，每一个有源矩阵阵列都包括：薄膜晶体管阵列，其包括多条数据线、与所述数据线交叉的选通线、连接到所述数据线和所述选通线的薄膜晶体管、连接到所述薄膜晶体管的像素电极，以及连接到所述像素电极的存储电容器；驱动电路单元，其依次向所述选通线供应选通脉冲；以及将所述测试线连接到该驱动电路单元的LOG线。3.根据权利要求2所述的母基板，其中，每一个有源矩阵阵列都还包括将所述LOG线彼此连接起来的第二连接线。4.一种制造液晶显示器的母基板的方法，该方法包括以下步骤：分别在该母基板上形成多个有源矩阵阵列、连接到所述有源矩阵阵列的测试线、连接到所述测试线的测试焊盘、将所述测试线彼此连接起来的第一连接线；在该母基板上形成覆盖所述多个有源矩阵阵列、所述测试线、所述测试焊盘和所述第一连接线的钝化层；以及在所述钝化层的蚀刻工艺中形成切断第一连接线的第一开孔。5.根据权利要求4所述的方法，该方法还包括以下步骤：在第一开孔的边缘上形成透明导电图案。6.根据权利要求5所述的方法，其中，每一个有源矩阵阵列都包括：薄膜晶体管阵列，其包括由源极/漏极金属图案形成的数据线、与所述数据线交叉并由栅极金属图案形成的选通线、连接到所述数据线和所述选通线的薄膜晶体管、连接到所述薄膜晶体管的像素电极，以及连接到所述像素电极的存储电容器；驱动电路单元，其依次向所述选通线供应选通脉冲；以及将所述测试线连接到所述驱动电路单元的LOG线。7.根据权利要求6所述的方法，其中，在该母基板上形成第一连接线的步骤包括：形成将所述LOG线彼此连接起来的第二连接线。8.根据权利要求7所述的方法，其中，形成第一开孔的步骤包括：在所述钝化层的蚀刻工艺中形成切断第二连接线的第二开孔。9.根据权利要求8所述的方法，其中，第一连接线和第二连接线由所述源极/漏极金属图案形成。10.根据权利要求8所述的方法，其中，第一连接线和第二连接线由所述栅极金属图案形成。2CCNN110209744002097450A说明书1/4页液晶显示器的母基板及其制造方法技术领域[0001]本申请涉及一种具有多个有源矩阵阵列的母基板及其制造方法。背景技术[0002]液晶显示器(LCD)由于其重量轻、体积纤薄和驱动能耗低等而被广泛地应用。这样的LCD已经被应用到诸如笔记本PC的便携式计算机、办公自动化设备、音频/视频设备、室内/室外广告显示设备中。[0003]参照图1，有源矩阵LCD的下玻璃基板GLSL设置有彼此交叉的数据线DL和选通线GL。在数据线DL和选通线GL的交叉点，以矩阵形式布置有彼此连接的TFT(薄膜晶体管)和像素电极。上玻璃基板GLSU设置有黑底BM、滤色器CF以及公共电极COM。下偏振器附着在下玻璃基板GLSL的光入射面上，而光吸收轴与下偏振器的垂直的上偏振器附着在上玻璃基板GLSU的光出射面上。另外，形成有与下玻璃基板GLSL和上玻璃基板GLSU之间的液晶层相接触的配向层。[0004]为了提高LCD的生产率，在一个大尺寸母基板上一起形成多个有源矩阵阵列，随后通过划刻工艺(scribingprocess)和研磨工艺将这些有源矩阵阵列彼此分割开。[0005]在对母基板进行薄膜构图的过程中，在沉积工艺、蚀刻工艺等工艺中往往会产生静电。如果形成在母基板上的线材料是低电阻的金属，静电就容易通过该线材料施加到有源矩阵阵列上。静电使有源矩阵阵列中的元件的特性变差，或者导致介电击穿。发明内容[0006]本申请的实施方式提供了一种液晶显示器的母基板及其制