基板缺陷检查装置及方法.pdf
念珊****写意
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相关资料
基板缺陷检查装置及方法.pdf
本发明的基板缺陷检查装置包括:移动工作台,将基板移动到检查位置;照明,为获取拍摄影像,将规定的光照射到基板;至少一个线扫描摄像机,以规定线为单位拍摄基板;至少一个区域摄像机,以规定区域为单位拍摄基板;数据库,存储用于检测基板缺陷的影像;控制部,用移动工作台来移动基板的位置,并控制照明来由线扫描摄像机获取拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像,基于获取的影像,将基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种,由此检测出初次缺陷,对判定为重新检查的基板控制照明,获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板
基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序.pdf
本发明提供一种基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序,不必设置自我诊断专用的接触部,也能够确定处于不良状态的接触部。在使分别用于与形成在被检查基板(24)上的电气导通的焊盘(22)相接触并且分别连接有输入部和输出部的3个以上的探针(14)与焊盘(22)相接触的状态下,向各探针(14)的输入部依次输入信号,并取得来自与该输入对应的各探针(14)的输出部的输出信号,根据所取得的输出信号的组合,确定处于不良状态的探针(14)。
缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
提供缺陷检查方法及缺陷检查装置,在以在直线偏振板层叠有防护膜和剥离膜的光学膜为被检物的情况下,能检出直线偏振板光学特性不均。缺陷检查方法是以具有直线偏振板的光学膜为被检物的该直线偏振板的缺陷检查方法,该光学膜依次具有剥离膜、该直线偏振板和防护膜,该防护膜具有取向轴,且被层叠为使该取向轴与该直线偏振板的吸收轴所成角度为0°±30°的范围,该缺陷检查方法具有配置工序,沿光轴依次配置具有第1偏振片的第1滤光片、相位差补偿板、该光学膜以及具有第2偏振片的第2滤光片,且将该光学膜以使该剥离膜侧的表面与该相位差补偿板
缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
本发明提供一种能够检测出光学特性的不均的缺陷检查方法。所述缺陷检查方法具有:配置工序,依次地并且满足下述的条件a1及条件a2地配置第1滤光片、光学膜、第2滤光片:(a1)所述第1滤光片的第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°的范围内,(a2)所述被检偏振片的吸收轴与所述第2滤光片的第2偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内;检测工序,检测从光源照射、并依次透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片的光;以及判断工序,基于所述检测工序中的检测结果,判断所述
基板异物检查装置以及基板异物检查方法.pdf
能够更简便地非常高精度地进行异物的检测。针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部、以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络,使用仅将无异物的印刷基板涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成的AI模型(100),获取将由相机(32D)得到的图像数据作为原始图像数据输入AI模型(100)而重构的图像数据作为重构图像数据。对原始图像数据和重构图像数据进行比较,基于比较结果来判定印刷基板中有无异物。由于不需要准备用于比较的主基板,因此异物检查变得简便。另外,通过在比较的两图像数据中使印刷基板的形状、外观分