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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
2023-05-16
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猫巷****晓容
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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
本发明涉及缺陷检查方法及缺陷检查装置。为了检查在工件(9)的表面形成的作为线状图案的突条(92)的缺陷，具有：拍摄工序，沿着突条(92)依次拍摄检查图像(P)；以及检查工序，对于检查图像(P)，依次进行缺陷检查，在检查工序中，基于检查图像(P)中包含的突条(92)的前端面的轮廓的连续性及图像面积来对缺陷进行判定。在拍摄工序中，根据从工件(9)的加工程序得到的突条(92)的形状数据来使摄像机(3)移动。
2023-09-03
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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
提供缺陷检查方法及缺陷检查装置,在以在直线偏振板层叠有防护膜和剥离膜的光学膜为被检物的情况下,能检出直线偏振板光学特性不均。缺陷检查方法是以具有直线偏振板的光学膜为被检物的该直线偏振板的缺陷检查方法,该光学膜依次具有剥离膜、该直线偏振板和防护膜,该防护膜具有取向轴,且被层叠为使该取向轴与该直线偏振板的吸收轴所成角度为0°±30°的范围,该缺陷检查方法具有配置工序,沿光轴依次配置具有第1偏振片的第1滤光片、相位差补偿板、该光学膜以及具有第2偏振片的第2滤光片,且将该光学膜以使该剥离膜侧的表面与该相位差补偿板
2023-05-16
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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
本发明提供一种能够检测出光学特性的不均的缺陷检查方法。所述缺陷检查方法具有:配置工序,依次地并且满足下述的条件a1及条件a2地配置第1滤光片、光学膜、第2滤光片:(a1)所述第1滤光片的第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°的范围内,(a2)所述被检偏振片的吸收轴与所述第2滤光片的第2偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内;检测工序,检测从光源照射、并依次透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片的光;以及判断工序,基于所述检测工序中的检测结果,判断所述
2023-05-16
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陶瓷体的缺陷检查装置及缺陷检查方法.pdf
本发明实现可靠且高效地检测出蜂窝结构体的端面所存在的缺陷并抑制通常的表面凹凸的误检测。在拍摄部的周围，将低角度、中角度及高角度照明部各自以呈不同的照明角度的形态具有的多个单元照明依次点亮及熄灭，该多个单元照明从彼此等角度间隔的不同照射方向分别向检查对象区域倾斜地照射照明光，每当多个单元照明分别点亮时，拍摄部进行所述拍摄区域的拍摄，判定用图像生成部基于与各照明部的照射角度相对应的3种拍摄数据的最大亮度图像数据及最小亮度图像数据中的至少1个来确定检查除外区域，然后，基于最小亮度图像数据，以拍摄区域中的检查除外
2023-06-21
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异物/缺陷检查装置、异物/缺陷检查中的图像生成装置以及异物/缺陷检查方法.pdf
由受光元件阵列(光电二极管阵列)的至少一个受光元件构成的一像素单位与光源一对一地对应，仅在光源发光时，由与该光源对应的至少一个受光元件(一像素单位)检测光束。因此，被准直或进一步大致聚光的仅一根光束射入到检查对象物中的“异物/缺陷”，受光元件仅能够分离并检测被散射的光，因此即使是具有光散射性且具有厚度的检查对象，也能够以良好的S/N(串扰极少)检测“异物/缺陷”。
2023-06-03
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