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基板异物检查装置以及基板异物检查方法.pdf

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能够更简便地非常高精度地进行异物的检测。针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部、以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络,使用仅将无异物的印刷基板涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成的AI模型(100),获取将由相机(32D)得到的图像数据作为原始图像数据输入AI模型(100)而重构的图像数据作为重构图像数据。对原始图像数据和重构图像数据进行比较,基于比较结果来判定印刷基板中有无异物。由于不需要准备用于比较的主基板,因此异物检查变得简便。另外,通过在比较的两图像数据中使印刷基板的形状、外观分别变得大致相同等,能够非常高精度地进行异物的检测。