基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106154097A(43)申请公布日2016.11.23(21)申请号201510649548.3(22)申请日2015.10.09(30)优先权数据2015-0985352015.05.13JP(71)申请人富士施乐株式会社地址日本东京都(72)发明人冈崎祥也(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉于靖帅(51)Int.Cl.G01R31/02(2006.01)G01R31/28(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图7页(54)发明名称基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序(57)摘要本发明提供一种基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序，不必设置自我诊断专用的接触部，也能够确定处于不良状态的接触部。在使分别用于与形成在被检查基板(24)上的电气导通的焊盘(22)相接触并且分别连接有输入部和输出部的3个以上的探针(14)与焊盘(22)相接触的状态下，向各探针(14)的输入部依次输入信号，并取得来自与该输入对应的各探针(14)的输出部的输出信号，根据所取得的输出信号的组合，确定处于不良状态的探针(14)。CN106154097ACN106154097A权利要求书1/1页1.一种基板检查装置，该基板检查装置具有：3个以上的接触部，其分别用于与形成在被检查基板上的电气导通的端子相接触，并且分别连接有输入部和输出部；取得部，在使该3个以上的接触部与该端子相接触的状态下，该取得部向各接触部的输入部依次输入信号，并取得来自与该输入对应的各接触部的输出部的输出信号；以及确定部，其根据该取得部所取得的输出信号的组合来确定处于不良状态的接触部。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，所述基板检查装置还具有检查部，在由所述确定部确定为处于不良状态的接触部不存在的情况下，该检查部使所述3个以上的接触部中的2个以上的接触部与所述端子相接触来进行所述被检查基板的电气检查。3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，所述确定部根据各接触部处于正常状态的情况下的所述输出信号的组合和所述取得部所取得的所述输出信号的组合之间的差异，确定处于所述不良状态的接触部。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板检查装置，其中，所述确定部还针对被确定为处于所述不良状态的接触部，根据在向该接触部的所述输入部输入所述信号的情况下的来自该接触部的所述输出部的输出信号，确定该接触部的处于不良状态的部位。5.一种基板检查方法，该基板检查方法包括：取得工序，在使分别用于与形成在被检查基板上的电气导通的端子相接触并且分别连接有输入部和输出部的3个以上的接触部与该端子相接触的状态下，向各接触部的输入部依次输入信号，并取得来自与该输入对应的各接触部的输出部的输出信号；以及确定工序，根据通过该取得工序取得的输出信号的组合来确定处于不良状态的接触部。6.根据权利要求5所述的基板检查方法，其中，所述基板检查方法还包括检查工序，在通过所述确定工序确定为处于不良状态的接触部不存在的情况下，使所述3个以上的接触部中的2个以上的接触部与所述端子相接触来进行所述被检查基板的电气检查。7.根据权利要求5或6所述的基板检查方法，其中，在所述确定工序中，根据各接触部处于正常状态的情况下的所述输出信号的组合与通过所述取得工序取得的所述输出信号的组合之间的差异，确定处于所述不良状态的接触部。8.根据权利要求5～7中的任意一项所述的基板检查方法，其中，在所述确定工序中，还针对被确定为处于所述不良状态的接触部，根据在向该接触部的所述输入部输入所述信号的情况下的来自该接触部的所述输出部的输出信号，确定该接触部的处于不良状态的部位。9.一种基板检查程序，该基板检查程序用于使计算机作为权利要求1～4中的任意一项所述的基板检查装置的取得部和确定部发挥功能。2CN106154097A说明书1/8页基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序技术领域[0001]本发明涉及基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序。背景技术[0002]专利文献1公开了一种印刷布线基板检查用的布图检查装置的自我诊断方法，其中，该布图检查装置具有检查机主体、多个探针以及连接两者之间的中继缆线。在该自我诊断方法中，从上述多个探针中预先指定在进行用于检查印刷布线基板的主检查时明显没有短路的一对探针。接着，在该自我诊断方法中，使上述多个探针的前端部分与整个面具有导通面的满版图案基板相接触，从而上述一对探针在形成导通状态时进入自我诊断工序。进而，在该自我诊断方法中，对连接于各探针的各中继缆线的导通状态进行诊断。[0003]【专利文献1】：日本特公平03-054312号公报[0004]在上述自我诊断方法等使用一对接触部(探针)进行