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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf

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提供缺陷检查方法及缺陷检查装置,在以在直线偏振板层叠有防护膜和剥离膜的光学膜为被检物的情况下,能检出直线偏振板光学特性不均。缺陷检查方法是以具有直线偏振板的光学膜为被检物的该直线偏振板的缺陷检查方法,该光学膜依次具有剥离膜、该直线偏振板和防护膜,该防护膜具有取向轴,且被层叠为使该取向轴与该直线偏振板的吸收轴所成角度为0°±30°的范围,该缺陷检查方法具有配置工序,沿光轴依次配置具有第1偏振片的第1滤光片、相位差补偿板、该光学膜以及具有第2偏振片的第2滤光片,且将该光学膜以使该剥离膜侧的表面与该相位差补偿板相面对的方向配置,且满足:(b1)该第2偏振片的吸收轴与该防护膜的该取向轴所成角度为90°±5°的范围内。