晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113192872A(43)申请公布日2021.07.30(21)申请号202110474775.2(22)申请日2021.04.29(71)申请人长鑫存储技术有限公司地址230601安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号(72)发明人李言彬杨苏洪兴峰李义群(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人梁皓茹(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图4页(54)发明名称晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法(57)摘要本申请涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法，该晶圆盒包括：盒体、晶圆扫描装置、盒盖。盒体上设有与盒体内部相连通的开口。晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置，晶圆扫描装置设置于盒体的内壁上，用于扫描盒体内晶圆的存放情况。盒盖扣设于开口处。晶圆盒的盒体的内壁上设有晶圆扫描装置，晶圆扫描装置实时扫描确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。取代了晶圆盒每次上机台时，都需要机台的机械手臂对晶圆盒中的晶圆进行扫描，确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。如此，可以节约大量时间，进而提高产能。并且，无需购买一套相对完整的机械手臂设备，节约了设备成本。无需设置机械手臂设备，节约了机台上的空间。CN113192872ACN113192872A权利要求书1/2页1.一种晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒包括：盒体，所述盒体上设有与所述盒体内部相连通的开口；晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置设置于所述盒体的内壁上，用于扫描所述盒体内晶圆的存放情况；盒盖，扣设于所述开口处。2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一晶圆扫描装置包括：第一滑动组件，位于所述盒体的内壁上，所述第一滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；信号发射器，位于所述第一滑动组件上，可沿所述第一滑动组件滑动；所述信号发射器用于发射探测信号；第二滑动组件，位于所述盒体的内壁上，与所述第一滑动组件相对设置；所述第二滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；信号接收器，位于所述第二滑动组件上，可沿所述第二滑动组件滑动；所述信号接收器用于接收所述探测信号；驱动装置，与所述信号发射器及所述信号接收器相连接，用于驱动所述信号发射器及所述信号接收器同步滑动。3.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均包括滑动导轨或滑动架。4.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述信号发射器包括红外信号发射器；所述信号接收器包括红外信号接收器。5.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均自所述盒体的顶部延伸至所述盒体的底部。6.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，还包括多组用于支撑晶圆的支撑组件，固定于所述容纳空间的内壁上，多组所述支撑组件沿所述盒体的高度方向平行间隔排布；各组所述支撑组件均包括多个支撑块，多个所述支撑块沿所述容纳空间的周向间隔排布。7.根据权利要求1至6中任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号。8.一种晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆传送系统包括：如权利要求1至6中任一项所述的晶圆盒；机台，包括承载台及晶圆传送装置；所述晶圆盒位于所述承载台上，所述晶圆传送装置用于向所述晶圆盒内传送所述晶圆；控制系统，与所述第一晶圆扫描装置及所述机台相连接，用于驱动所述第一晶圆扫描装置在所述晶圆盒内移动，以对所述盒体内部进行扫描，根据所述第一晶圆扫描装置的扫描结果得到所述晶圆盒中的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至所述机台，所述晶圆信息包括所述晶圆盒中所述晶圆的数量及位置。9.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，还包括通讯装置，所述通讯装置与所述控制相连接，用于将所述的扫描结果发送至所述控制系统。10.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆传送装置包括机械手2CN113192872A权利要求书2/2页臂。11.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号；所述控制系统还与所述第二晶圆扫描装相连接，所述控制系统还用于将所述背刻号扫描装置扫描并记录的背刻号与目标背刻号进行比对，并在比对结果不符时向所述机台发送报警控制信息，所述