传送及保护晶圆的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108666250A(43)申请公布日2018.10.16(21)申请号201710209058.0(22)申请日2017.03.31(71)申请人奇景光电股份有限公司地址中国台湾台南市(72)发明人张瑞堂(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人李昕巍郑特强(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权利要求书2页说明书3页附图5页(54)发明名称传送及保护晶圆的装置(57)摘要本发明提出一种传送及保护晶圆的装置，其包含晶圆容器；多个晶圆卡匣，设于晶圆容器内；啮合锁，用以避免多个晶圆卡匣产生移位，该啮合锁直接接触于多个晶圆卡匣的侧壁。CN108666250ACN108666250A权利要求书1/2页1.一种传送及保护晶圆的装置，包含：一晶圆容器；多个晶圆卡匣，设于该晶圆容器内；及一啮合锁，用以避免所述多个晶圆卡匣产生移位，该啮合锁直接接触于所述多个晶圆卡匣的侧壁。2.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该啮合锁不接触于晶圆。3.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该啮合锁包含：一穹面，其内表面的垂直方向固设有长条件；及一托架，其内表面固设于该穹面的外表面，且该托架的外表面固设于该晶圆容器的内表面。4.根据权利要求3所述的传送及保护晶圆的装置，其中每一该长条件具有单边或双边水平延伸。5.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器包含一遮罩及一底座，其共同定义出容置晶圆的空间。6.根据权利要求5所述的传送及保护晶圆的装置，其中该遮罩包含透明材质。7.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合标准机械接口规格。8.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合前开式晶圆传送盒规格。9.根据权利要求1所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆卡匣于远端具有开口，使得该晶圆卡匣的远端未受阻挡。10.一种传送及保护晶圆的装置，包含：一晶圆容器；及多个晶圆卡匣，设于该晶圆容器内；其中所述多个晶圆卡匣设于该晶圆容器的所有面。11.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器的每一面设有至少两行的晶圆卡匣，彼此肩并肩设置，且其开口向外。12.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中所述多个晶圆卡匣整合为单一物件。13.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，还包含一顶板及一底板，所述多个晶圆卡匣的顶端与底端分别枢接于该顶板与该底板。14.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器包含一遮罩及一底座，其共同定义出容置晶圆的空间。15.根据权利要求14所述的传送及保护晶圆的装置，其中该遮罩包含透明材质。16.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合标准机械接口规格。17.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆容器符合前开式晶圆传送盒规格。18.根据权利要求10所述的传送及保护晶圆的装置，其中该晶圆卡匣于远端具有开口，2CN108666250A权利要求书2/2页使得该晶圆卡匣的远端未受阻挡。3CN108666250A说明书1/3页传送及保护晶圆的装置技术领域[0001]本发明设计一种晶圆卡匣(wafercassette)，尤其涉及一种传送及保护晶圆的装置。背景技术[0002]晶圆卡匣是一种用以夹持晶圆的装置，以利传送于设备之间以进行晶圆的处理或量测。储存于晶圆卡匣的晶圆可使用机械手(robotichand)或牙叉(fork)将其取出或置入。[0003]符合标准机械接口(StandardMechanicalInterFace,SMIF)规格的传送盒可提供一小型环境，具有受控制的气流、压力及粒子数量，用以隔离晶圆免受到污染。前开式晶圆传送盒(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)是另一种规格，用以稳固且安全地夹持晶圆于受控制的环境中，使得晶圆得以传送于设备之间以进行处理或量测。[0004]为了提高效率，传统的传送盒内通常设置有一个以上的晶圆卡匣。然而，由于晶圆卡匣是个别的置入传送盒内，因此当使用机器人系统的机械手臂来存取晶圆时，传统传送盒的操作精确度很低。[0005]当移动传送盒时，为了避免其内的晶圆卡匣与晶圆不会产生移位，需要使用机制以稳固夹持多个晶圆卡匣。然而，传统机制容易因为制造公差而损坏晶圆卡匣内的晶圆。此外，当存取传统晶圆卡匣内的晶圆时，机械手的前端经常因为错位而意外地撞到晶圆卡匣的侧壁。[0006]因此，亟需提出一种新颖的装置以传送及保护晶圆，并改善传统传送盒的缺失。发明内容[0007]鉴于上述，本发明实施例的目的之一在于提出一种具有高操作精确度的装置，以传送及保护晶圆，且