薄膜剥离装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103787130103787130A(43)申请公布日2014.05.14(21)申请号201310439861.5(22)申请日2013.09.25(30)优先权数据2012-2404182012.10.31JP(71)申请人日立成套设备机械股份有限公司地址日本山口县(72)发明人武末功筱塚诚冈本宣幸(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038代理人吕林红(51)Int.Cl.B65H41/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书5页说明书5页附图3页附图3页(54)发明名称薄膜剥离装置(57)摘要本发明提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR）等容易破断的薄膜，也能够通过防止剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。薄膜剥离装置具备搬运基板（2）的基板搬运组件（1）、将在由该基板搬运组件（1）搬运来的基板（2）上粘贴的薄膜（2b）剥离的剥离组件（30），剥离组件（30）具备：粘着片材的送出及卷取机构（40、50）；将从该粘着片材的送出、卷取机构（40、50）送出的粘着片材（60）在遍及薄膜（2b）的整个面粘贴的粘贴机构（32）；将贴着于粘着片材（60）的薄膜（2b）与粘着片材（60）一起从基板（2）剥离的剥离机构（32）。CN103787130ACN10378ACN103787130A权利要求书1/1页1.一种薄膜剥离装置，其具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运组件搬运来的基板上粘贴的薄膜剥离的剥离组件，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出及卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构。2.根据权利要求1所述的薄膜剥离装置，其特征在于，粘贴机构和剥离机构由一个部件构成。3.根据权利要求2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，粘贴机构和剥离机构由一个辊形状部件构成。4.根据权利要求1、2或3所述的薄膜剥离装置，其特征在于，在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构。2CN103787130A说明书1/5页薄膜剥离装置技术领域[0001]本发明涉及用于将粘贴于基板的薄膜剥离的薄膜剥离装置。背景技术[0002]一直以来，为了剥离粘贴于基板的薄膜，提出有如下所述的方法，如专利文献1所记载的那样，在为了从基板部分地分离薄膜的前端部而将剥离用粘着胶带按压的状态下，通过使基板向搬运路径的下游侧移动而与剥离用粘着胶带一起卷起薄膜，使用由夹持部把持该部分的薄膜把持搬运机构和将基板夹在中间的压接辊，一边使基板向搬运方向移动一边进行剥离，或者是如专利文献2所记载的那样，在由夹持部把持基板的前部而将剥离用粘着胶带按压的状态下，通过使基板向搬运路径的下游侧移动而与剥离用粘着胶带一起卷起薄膜，使用由夹持部把持该部分的薄膜把持搬运机构，一边使基板向搬运方向移动一边进行剥离。[0003]在先技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1：日本专利第4779132号公报[0006]专利文献2：日本专利第4231018号公报[0007]发明要解决的课题[0008]然而，在专利文献1及2所公开的方法中，当将粘贴于基板的两面的薄膜从基板分离时，薄膜与剥离用粘着胶带一起分离，在该方法中，对于不具备能够克服剥离力的薄膜强度的薄膜、覆盖有抗蚀膜的薄膜，在剥离时存在薄膜破断而残留于基板上的问题。[0009]本发明鉴于使用上述的剥离用粘着胶带而剥离薄膜时的薄膜的破断的问题点，其目的在于提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR：DryFilmSolderResist）等容易破断的薄膜，也能够通过防止在剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。发明内容[0010]解决课题的技术方案[0011]为了实现上述目的，本发明的薄膜剥离装置具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运机构搬运的基板粘贴的薄膜剥离的剥离机构，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出及卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构。[0012]在该情况下，能够将粘贴机构和剥离机构由一个部件构成，更具体而言，由一个辊形状部件构成。[0013]另外，能够在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构。[0014]发明效果3CN103787130A说明书2/5页[0015]根据本发明的薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR）等容易破断的薄膜，通过将粘着片材粘贴于薄膜的整个面而强化薄膜，即使在发生破断的状况下，粘着片材在遍