防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111103756A(43)申请公布日2020.05.05(21)申请号201911025180.8(22)申请日2019.10.25(30)优先权数据2018-2014202018.10.26JP(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本东京都(72)发明人滨田裕一(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇(51)Int.Cl.G03F1/64(2012.01)权利要求书1页说明书9页附图3页(54)发明名称防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置(57)摘要本发明提供一种防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置，将以粘着层(14)粘着于曝光原板(1)的防尘薄膜组件(10)从曝光原板(1)剥离；该组件(10)具有：防尘薄膜(12)，通过防尘薄膜用接着剂(13)张设于防尘薄膜框架(11)的一侧的端面；粘着层(14)，设置于防尘薄膜框架(11)的另一侧的端面。在设置于防尘薄膜框架外侧面的治具孔(30)插入防尘薄膜框架支持销(21)，使支持销(21)朝向粘着层(14)从曝光原板(1)剥离的方向移动，此时，测量作用在支持销(21)的剥离力，并在进行控制以使该剥离力降至最小的状况下，将组件(10)从曝光原板(1)剥离。由此，可在将防尘薄膜组件从曝光原板剥离时，减少残留于曝光原板上的残渣，并可在柔和的清洗条件下实施曝光原板的再清洗。CN111103756ACN111103756A权利要求书1/1页1.一种防尘薄膜组件的剥离方法，将以粘着层粘着于曝光原板的防尘薄膜组件从该曝光原板剥离；该防尘薄膜组件具有：防尘薄膜，通过防尘薄膜用接着剂张设于防尘薄膜框架的一侧的端面；以及该粘着层，设置于该防尘薄膜框架的另一侧的端面；该防尘薄膜组件的剥离方法的特征在于，将防尘薄膜框架支持销插入设置于该防尘薄膜框架的外侧面的治具孔，并使该防尘薄膜框架支持销朝向该防尘薄膜组件从该曝光原板剥离的方向移动，此时，测量作用在该防尘薄膜框架支持销的剥离力，并在进行控制以使该剥离力降至最小的状况下，将该防尘薄膜组件从该曝光原板剥离。2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件的剥离方法，其中，对于插入至该防尘薄膜框架的外侧面的相同边的治具孔的该防尘薄膜框架支持销，一并实施作用在插入至该外侧面的该治具孔的该防尘薄膜框架支持销的该剥离力的测量及控制。3.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件的剥离方法，其中，对于插入至该防尘薄膜框架的外侧面的该治具孔的各该防尘薄膜框架支持销，独立实施作用在该防尘薄膜框架支持销的该剥离力的测量及控制。4.根据权利要求1至3中任一项所述的防尘薄膜组件的剥离方法，其中，在实施该剥离力的控制时，对于该防尘薄膜框架支持销，在亦进行与该防尘薄膜组件所剥离的方向不同的动作的状况下，剥离该防尘薄膜组件。5.一种防尘薄膜组件的剥离装置，将以粘着层粘着于曝光原板的防尘薄膜组件从该曝光原板剥离；该防尘薄膜组件具有：防尘薄膜，通过防尘薄膜用接着剂张设于防尘薄膜框架的一侧的端面；以及该粘着层，设置于该防尘薄膜框架的另一侧的端面；该防尘薄膜组件的剥离装置，具备：多个防尘薄膜框架支持销，插入设置于该防尘薄膜框架的外侧面的治具孔，用来支撑该防尘薄膜框架；多个负载检测元件，对应于各自的该防尘薄膜框架支持销而设置，用来测量作用在对应的该防尘薄膜框架支持销的力；以及多个单轴机械臂，对应于各自的该防尘薄膜框架支持销而设置，使对应的该防尘薄膜框架支持销独立在上下方向移动。2CN111103756A说明书1/9页防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置技术领域[0001]本发明关于作为制造LSI(LargeScaleIntegration，大型集成电路)、超LSI等半导体装置或液晶显示板时的光刻用遮罩的防尘器而使用的防尘薄膜组件的剥离方法及防尘薄膜组件的剥离装置。背景技术[0002]在制造LSI、超LSI等半导体装置或液晶显示板等时，将曝光原板重叠于半导体晶圆或液晶基板的光致抗蚀剂涂布面，并照射平行光而将潜影图案形成于光致抗蚀剂。此时，若尘埃附着于曝光原板，则此尘埃会吸收光线或会使光线弯曲，因此，除了会造成转印后的图案变形、边缘粗糙外，还会使基底脏污，而产生损害到尺寸、品质、外观的问题。又，本发明中，所谓“曝光原板”，是指光刻用遮罩及倍缩遮罩的总称。[0003]因此，虽然光刻作业通常在无尘室进行，但尽管如此也难以总是保持洁净，故采取贴附防尘薄膜组件的方法；该防尘薄膜组件具有在曝光原板的图案面作为防尘器使用的能使曝光用的光线良好地通过的防尘薄膜。[0004]防尘薄膜组件是一种曝光原板用防尘保护盖体，其具有：防尘薄膜框架(框体)；防尘薄膜，张设于防尘薄膜框架的上端面；粘