靶材组件溅射面的处理方法.pdf
灵波****ng
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靶材组件溅射面的处理方法.pdf
一种靶材组件溅射面的处理方法,包括:提供靶材组件,所述靶材组件由靶材和背板焊接而成,对所述靶材组件溅射面进行粗加工,将焊接过程中产生的氧化层去除;对所述粗加工后的靶材组件溅射面进行精加工,去除在该溅射面上进行粗加工时留下的刀纹,并且能够减薄粗加工在该溅射面上形成的应力层厚度;对所述精加工后的靶材组件溅射面进行抛光处理。采用本发明的方法处理的靶材组件,应用于溅射工艺时,能够减短预溅射时间,从而提高在基片上的镀膜效率。
铜靶材表面的处理方法.pdf
本发明提供一种铜靶材表面的处理方法,其中所述方法包括:提供铜靶材,所述铜靶材包括铜靶材镜面;对铜靶材镜面进行机械加工;对机械加工后的铜靶材镜面进行抛光处理,所述抛光处理包括至少两次抛光工艺。通过在机械加工后采用至少两次抛光工艺对所述铜靶材镜面进行表面处理,所述抛光工艺去除机械加工在铜靶材镜面表面形成的划伤,还去除机械加工残留液体在所述铜靶材镜面形成的氧化层,从而使铜靶材镜面的表面色泽度和粗糙度更好,进而降低了铜靶材的返修率和报废率。
一种溅射后LCD靶材的处理方法.pdf
本发明提供一种溅射后LCD靶材的处理方法,所述处理方法包括对溅射后LCD靶材的背板进行喷砂处理,去除背板上残留的溅射物。所述处理方法操作简单,处理成本较低,实现了溅射后LCD靶材中背板的回收利用;而且喷砂处理中用到的砂料可以回收重复利用,不会对环境造成污染,是一种绿色经济的靶材回收处理方法,适合大规模推广应用。
靶材组件及其制造方法.pdf
一种靶材组件的制造方法,包括以下步骤:提供靶材与背板;对所述靶材的焊接面进行加工,在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面,并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面,其中,所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出;对所述背板的焊接面进行加工,使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小;将所述靶材、背板焊接在一起;去除部分靶材和部分背板材料,以形成靶材组件。本发明还提供一种靶材组件,包括靶材以及背板,所述靶材的焊接面嵌入所述背板的焊接面中。本发明提供的方法进一步排出了靶材、背板之间的残留气体,提高了靶材成品率
靶材组件的制造方法.pdf
本发明公开了一种靶材组件的制造方法,包括:根据背板材质要求准备相应的背板粉末原料;准备待焊接的靶材板坯,靶材板坯包括溅射面和焊接面;将背板粉末原料和靶材板坯依次装入模具中,背板粉末原料和靶材板坯的焊接面相接触;将装有背板粉末原料和靶材板坯的模具放入真空热压烧结炉,同步进行背板热压烧结成型,以及靶材板坯与背板材料扩散焊接,得到靶材组件坯体;对得到的靶材组件坯体进行外形机加工处理得到靶材组件。本发明制造的靶材组件表面平整度高、弯曲变形小、焊合率高,背板致密度高,组件焊接成品率高。