一种硅片载具.pdf

本发明公开了一种硅片载具，包括：载具主体（1），用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部。至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括，V形槽固定条（2），所述V形槽固定条用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片，通过V形槽固定条的固定，使得硅片在抖动过程中不在发生自旋转，保证了硅片在腐蚀过程中的自旋转提高沟槽深度的均匀性和一致性。

2023-11-22

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一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片.pdf

本发明实施例公开了一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片；所述载具包括：呈圆盘状且具备圆形开口的第一本体；布设在所述第一本体的圆形开口内的第二本体，所述第二本体被构造成能够从所述第一本体上进行拆卸；布设在所述第二本体内周一圈且呈圆环状的缓冲单元，用于形成承载硅片的保持孔；其中，在进行双面抛光之前，所述第二本体被从所述第一本体上拆卸并进行预处理以降低自身的温度。

2023-05-31

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一种硅片的载片治具及运载装置.pdf

本发明公开一种硅片的载片治具及运载装置，涉及半导体领域，解决了硅片在生产工序转移中容易崩边、产生硅落的问题。具体方案包括：底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成相邻两侧敞开的框型结构；胶垫设置于底板的上表面；胶垫的上表面倾斜，且胶垫上远离支撑杆的一侧高于靠近支撑杆的一侧，硅片可堆叠放置在胶垫上。本方案通过底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成具有相邻两侧敞开的框型结构，上表面倾斜的胶垫设置于底板上两个挡板和支撑杆相围合形成的区域内，硅片可倾斜地堆叠放置在胶垫上，硅片通过自身的重力作用倾斜朝下并抵接在支

2023-05-28

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一种硅片的双面抛光用的载具以及装置.pdf

本发明实施例公开了一种硅片的双面抛光用的载具以及装置；所述载具包括：呈圆盘状且具备圆形开口的本体；布设在所述本体的圆形开口内周一圈且呈圆环状的缓冲单元，所述缓冲单元被构造成被挤压产生变形之后仍能够使得硅片边缘的抛光量不超过目标抛光量。

2023-06-07

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一种载具.pdf

本发明涉及一种载具，其中，包括：车体；设置在车体上的前轮和后轮；以及设置在车体上的踏板；其中，后轮具有第一位置和第二位置，且后轮可在第一位置和第二位置之间移动，踏板具有第三位置和第四位置，且踏板可在第三位置和第四位置之间移动；其中，当后轮处于第一位置且踏板处于第三位置时，载具处于展开布置；当后轮处于第二位置且踏板处于第四位置时，载具处于折叠布置。前述的载具，后轮和踏板都可以展开与折叠，折叠得更为充分，折叠后可以使载具的整体体积更小，携带及收纳十分方便。

2023-08-20

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