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一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片.pdf
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本发明实施例公开了一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片；所述载具包括：呈圆盘状且具备圆形开口的第一本体；布设在所述第一本体的圆形开口内的第二本体，所述第二本体被构造成能够从所述第一本体上进行拆卸；布设在所述第二本体内周一圈且呈圆环状的缓冲单元，用于形成承载硅片的保持孔；其中，在进行双面抛光之前，所述第二本体被从所述第一本体上拆卸并进行预处理以降低自身的温度。
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