一种硅片的载片治具及运载装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114334757A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202210249624.1(22)申请日2022.03.15(71)申请人广东高景太阳能科技有限公司地址519000广东省珠海市横琴新区荣澳道153号4幢二层B25单元(72)发明人徐志群孙彬付明全邓持清马伟萍(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人牛丽霞(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种硅片的载片治具及运载装置(57)摘要本发明公开一种硅片的载片治具及运载装置，涉及半导体领域，解决了硅片在生产工序转移中容易崩边、产生硅落的问题。具体方案包括：底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成相邻两侧敞开的框型结构；胶垫设置于底板的上表面；胶垫的上表面倾斜，且胶垫上远离支撑杆的一侧高于靠近支撑杆的一侧，硅片可堆叠放置在胶垫上。本方案通过底板、两个挡板、连接板和支撑杆相围合形成具有相邻两侧敞开的框型结构，上表面倾斜的胶垫设置于底板上两个挡板和支撑杆相围合形成的区域内，硅片可倾斜地堆叠放置在胶垫上，硅片通过自身的重力作用倾斜朝下并抵接在支撑杆的一侧，减少硅片在中转过程中前后的滑动，从而减少崩边、硅落的问题。CN114334757ACN114334757A权利要求书1/1页1.一种硅片的载片治具，其特征在于，包括：底板（1）、挡板（2）、连接板（3）、支撑杆（4）和胶垫（5）；所述挡板（2）有两个且间隔设置在所述底板（1）上；所述连接板（3）的两端分别连接于两个所述挡板（2）的远离所述底板（1）的一端；所述支撑杆（4）的一端连接于所述底板（1），另一端连接于所述连接板（3）；所述底板（1）、两个所述挡板（2）、所述连接板（3）和所述支撑杆（4）相围合形成相邻两侧敞开的框形结构；所述胶垫（5）设置于所述底板（1）的上表面，且所述胶垫（5）的形状与两个所述挡板（2）和所述支撑杆（4）在所述底板（1）上围成的区域适配；所述胶垫（5）的上表面倾斜，且所述胶垫（5）上远离所述支撑杆（4）的一侧高于靠近所述支撑杆（4）的一侧，硅片可堆叠放置在所述胶垫（5）上。2.根据权利要求1所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述底板（1）上设有对称的两组第一限位孔（11），两组所述第一限位孔（11）的连线与所述底板（1）的第一侧边（101）平行，两个所述挡板（2）对应连接于两组所述第一限位孔（11）上。3.根据权利要求2所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述底板（1）上设有第二限位孔（12），所述第二限位孔（12）靠近所述第一侧边（101），所述支撑杆（4）的一端通过所述第二限位孔（12）固定安装在所述底板（1）上。4.根据权利要求2所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述挡板（2）呈L形，所述挡板（2）的短端（21）连接于所述第一限位孔（11），所述挡板（2）的长端（22）连接于所述连接板（3），所述短端（21）与所述长端（22）相对。5.根据权利要求4所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述连接板（3）呈U形，所述连接板（3）的第一段（31）和第三段（33）分别连接于两个所述挡板（2）的长端（22），所述连接板（3）的第二段（32）与所述支撑杆（4）连接。6.根据权利要求1所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述胶垫（5）上远离所述支撑杆（4）的一侧开设有导流孔（51）。7.根据权利要求6所述的一种硅片的载片治具，其特征在于，所述底板（1）的上表面开设有凹槽，所述凹槽与所述导流孔（51）相适配，且所述凹槽的一端延伸至所述底板（1）上远离所述支撑杆（4）的一侧。8.一种硅片的运载装置，其特征在于，包括箱体（6）和多个如权利要求1至7任一项所述的硅片的载片治具；所述箱体（6）的纵向侧壁设有多个限位胶条（61），每个所述硅片的载片治具卡设于相邻的两个所述限位胶条（61）之间。9.根据权利要求8所述的一种硅片的运载装置，其特征在于，所述箱体（6）的底部设有基座（62），且所述基座（62）的远离所述纵向侧壁的一侧高于所述基座（62）的靠近所述纵向侧壁的一侧。10.根据权利要求9所述的一种硅片的运载装置，其特征在于，所述箱体（6）的底部设置有可拆卸的滤网，所述基座（62）上设置有若干个通孔，碎渣可随所述通孔掉落并汇集到所述滤网上。2CN114334757A说明书1/5页一种硅片的载片治具及运载装置技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种硅片的载片治具及运载装置。背景技术[0002]硅片是指由单晶硅切割成的薄片,主要用来生产集成电路。[0003]生产硅片要经过多道工序，其中在脱胶工序和清洗工序间缺