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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105895745A(43)申请公布日2016.08.24(21)申请号201610451612.1B23K26/40(2014.01)(22)申请日2016.06.21(71)申请人苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司地址215000江苏省苏州市苏州工业园区钟慧路58号2幢125室申请人协鑫集成科技(苏州)有限公司协鑫集成科技股份有限公司(72)发明人陆军威张闻斌王琪(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)B23K26/38(2014.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称异质结太阳能电池片的切割方法(57)摘要本发明涉及太阳能电池领域,具体公开了一种异质结太阳能电池片的切割方法,其包括如下步骤:用紫外激光从电池片一表面进行至少一次激光切割形成切槽;将电池片裂片。上述切割方法,由于采用紫外激光切割,紫外激光在电池片表面留下的切槽的宽度较窄,并且紫外激光作用于电池片表面时产生热量较小,可以有效保护电池片中的透明导电膜层,从而电池片的性能。另外,由于并不直接将电池片切断,而通过裂片将电池片分离;这样晶体硅层的另一侧的各功能层不用烧结气化,有效保护了这些功能层的性能,进一步降低切割对异质结太阳能电池片的损伤。CN105895745ACN105895745A权利要求书1/1页1.一种异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,包括如下步骤:用紫外激光从异质结太阳能电池片的一侧表面进行至少一次激光切割,形成切槽;将具有所述切槽的异质结太阳能电池片进行裂片操作。2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述紫外激光的波长为315~400nm。3.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述紫外激光的功率小于等于5W。4.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述激光切割的切割面为异质结太阳能电池片靠近N型硅的一侧表面。5.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,在激光切割时,对切割处进行保护气吹扫。6.根据权利要求5所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述保护气为氮气。7.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述激光切割的次数为至少两次。8.根据权利要求7所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,每次激光切割的切割深度为20~40μm。9.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述切槽的深度与所述异质结太阳能电池片的厚度之比为1:2~2:3。10.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法,其特征在于,所述裂片操作为手工掰片。2CN105895745A说明书1/4页异质结太阳能电池片的切割方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池领域,特别是涉及一种异质结太阳能电池片的切割方法。背景技术[0002]为了适应光伏市场多元化发展,在市场需求的功率和电压不能兼顾的时候,须对太阳能电池片进行激光切割。激光切割的原理是激光经过聚焦后照射到太阳能电池片上,使材料温度急剧升高至熔化或气化,随着激光与太阳能电池片的相对运动,在太阳能电池片上形成切缝从而达到切割的目的。激光切割具有①、切割精度高、切缝窄、质量好、热影响区较小,且切割端面平整光滑;②、切割速度快,加工效率高;③、是一种非接触式切割,没有机械加工力,不会产生形变,也不存在加工屑、油污、噪声等污染问题。[0003]异质结太阳能电池(HIT电池)是通过在掺杂非晶硅层与晶体硅衬底之间加入本征层所构建的。异质结太阳能电池既具有晶体硅太阳能电池的高效率和高稳定性,同时由于能耗小,工艺相对简单、温度特性更好,在高温下也能有较高的输出。近年来备受关注,已经成为太阳能电池的主要发展方向之一。[0004]目前,单晶硅电池片、或多晶硅电池片均使用红外激光切割仪切割而成,但是这种切割方法并不能很好地适用于异质结太阳能电池片的切割,其主要表现在:电池片的表面切割槽宽度过宽,并且对非晶硅薄膜以及透明导电层造成损伤。发明内容[0005]基于此,有必要针对现有的切割方法不适用于异质结太阳能电池片的问题,提供一种适用于异质结太阳能电池片的切割方法。[0006]一种异质结太阳能电池片的切割方法,包括如下步骤:[0007]用紫外激光从异质结太阳能电池片的一侧表面进行至少一次激光切割,形成切槽;[0008]将具有所述切槽的异质结太阳能电池片进行裂片操作。[0009]上述异质结太阳能电池片的切割方法,由于采用紫外激光进行切割,紫外激光在异质结太阳能电池片表面留下的切槽的宽度较窄,并且