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异质结太阳能电池片及其制备方法.pdf
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小琛****82
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本发明提供了一种异质结太阳能电池片及其制备方法,其中,异质结太阳能电池片包括:单晶硅衬底;在所述单晶硅衬底正面和背面分别制备本征非晶硅薄膜层;N型非晶硅掺杂层或N型微晶硅掺杂层,设置在所述单晶硅衬底正面的本征非晶硅薄膜层顶面;P型微晶硅掺杂层,位于所述单晶硅衬底背面的本征非晶硅薄膜层底面;透光导电层,分别设置在所述N型非晶硅掺杂层或N型微晶硅掺杂层的顶面和所述P型微晶硅掺杂层的底面;电极,设置在所述透光导电层的表面上。其中,P型微晶硅掺杂层为至少由硅烷掺杂三甲基硼的混合气体沉积而成的层状结构,减少硼原子对
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