等离子液处理方法、等离子液处理装置及口腔清洗装置.pdf
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相关资料
等离子液处理方法、等离子液处理装置及口腔清洗装置.pdf
本发明提供使等离子液的氧化能力安全地降低的等离子液处理方法、等离子液处理装置及口腔清洗装置。该等离子液处理方法使通过等离子体使液体形成了氧化能力的等离子液与对象物接触(S24),将使等离子液与对象物接触后残留的残留等离子液与水混合(S26)。
液处理装置和清洗方法.pdf
本发明涉及液处理装置和清洗方法。使附着于内杯的涂布液不会在清洗了液处理装置的内杯之后残留。一种在基板上涂布涂布液的液处理装置,其包括:保持部,其保持基板并使其旋转;涂布液供给部,其向被保持部保持着的基板供给涂布液;外杯,其围绕被保持部保持着的基板的周边;以及内杯,其设于外杯的内侧,自侧方包围保持部,该内杯的周缘侧上表面自顶部随着朝向径向外方去而下降倾斜,该顶部位于被保持部保持着的基板的周缘侧的下方,内杯具有在顶部沿着周向形成有多个的喷出孔,使自喷出孔喷出来的清洗液沿着附着有涂布液的内杯的周缘侧上表面流下,
液处理装置及液处理方法.pdf
本发明提供一种液处理装置及液处理方法,其能够防止由附着在用于支承喷嘴的喷嘴支承臂上的污垢污染处理室内的基板。液处理装置(10)包括:处理室(20),其在内部设有用于保持基板(W)的基板保持部(21)和配设在该基板保持部(21)的周围的杯(40);喷嘴(82a),其用于向保持在基板保持部(21)的基板W供给流体;喷嘴支承臂,其用于支承喷嘴(82a)。在液处理装置(10)中设有用于对喷嘴支承臂(82)进行清洗的臂清洗部(88)。
等离子处理装置以及等离子处理方法.pdf
为了提供使晶片的处理的成品率得到提升的等离子处理装置或等离子处理方法,具备:处理室,其配置于真空容器内部,在内侧配置处理对象的晶片并形成等离子;具有圆筒形的样品台,其配置于该处理室内,在上表面载置所述晶片;多个加热器,其配置于所述样品台的内部,配置于包含关于从中心向外周侧的径向在多个半径上绕着所述中心同心状配置的圆形的区域以及包围其外周的环状的区域的3个以上径向的区域的每一个区域,包含配置于至少1个所述环状的区域的关于绕着所述中心的周向而划分的多个圆弧状的区域的每一个区域的加热器;多个温度传感器,其配置于
等离子处理装置以及等离子处理方法.pdf
使成品率得以提升的等离子处理装置具备:配置于真空容器内部且在内侧形成等离子的处理室;配置于该处理室内且在上表面搁放处理对象的晶片的样品台;配置于该样品台内部的具有圆板或圆筒形状的金属制的基材;在该基材的内部绕着其中心同心状多重配置并在内侧流通调节成预先确定的温度的冷媒的冷媒流路;配置于该冷媒流路与所述基材的上表面之间并探测温度的至少1个温度传感器;和使用来自该温度传感器的输出来检测所述基材或搁放于所述样品台上的处理中的所述晶片的温度的控制器。所述控制器在将根据所述温度传感器的输出得到的温度与实际的所述基材