液处理装置和清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114289224A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111164695.3H01L21/67(2006.01)(22)申请日2021.09.30(30)优先权数据2020-1703752020.10.08JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人柴崎健太稻田博一新村聪高柳康治矢田健二关慎一寺本昭宏(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.B05B15/555(2018.01)B05B15/55(2018.01)权利要求书2页说明书10页附图12页(54)发明名称液处理装置和清洗方法(57)摘要本发明涉及液处理装置和清洗方法。使附着于内杯的涂布液不会在清洗了液处理装置的内杯之后残留。一种在基板上涂布涂布液的液处理装置，其包括：保持部，其保持基板并使其旋转；涂布液供给部，其向被保持部保持着的基板供给涂布液；外杯，其围绕被保持部保持着的基板的周边；以及内杯，其设于外杯的内侧，自侧方包围保持部，该内杯的周缘侧上表面自顶部随着朝向径向外方去而下降倾斜，该顶部位于被保持部保持着的基板的周缘侧的下方，内杯具有在顶部沿着周向形成有多个的喷出孔，使自喷出孔喷出来的清洗液沿着附着有涂布液的内杯的周缘侧上表面流下，从而对该周缘侧上表面进行清洗，喷出孔形成为向径向外方且斜上方喷出清洗液。CN114289224ACN114289224A权利要求书1/2页1.一种液处理装置，其在基板上涂布涂布液，其中，该液处理装置包括：保持部，其保持基板并使其旋转；涂布液供给部，其向被所述保持部保持着的基板供给涂布液；以及内杯，其自侧方包围所述保持部，该内杯的周缘侧上表面自顶部随着朝向径向外方去而下降倾斜，该顶部位于被所述保持部保持着的基板的周缘侧的下方，所述内杯具有喷出孔，该喷出孔在所述顶部沿着周向形成有多个，使自所述喷出孔喷出来的清洗液沿着附着有所述涂布液的所述内杯的周缘侧上表面流下，从而对该周缘侧上表面进行清洗，所述喷出孔形成为向径向外方且斜上方喷出所述清洗液。2.根据权利要求1所述的液处理装置，其中，构成所述喷出孔的流路的顶端比基端侧细。3.根据权利要求1或2所述的液处理装置，其中，所述喷出孔形成为向在俯视时相对于穿过该喷出孔的径向具有角度的方向喷出所述清洗液。4.根据权利要求1～3中任一项所述的液处理装置，其中，在所述喷出孔的上方设有遮蔽板，该遮蔽板防止自该喷出孔以飞沫状放出的所述清洗液的扩散。5.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其中，所述内杯具有：贮存室，其在该内杯的内部沿着周向设为圆环状，与所述喷出孔分别连通，贮存所述清洗液；以及导入孔，其与所述贮存室连接，向该贮存室导入清洗液。6.根据权利要求5所述的液处理装置，其中，利用所述喷出孔实现的所述清洗液向斜上方喷出的喷出角度根据自所述喷出孔到该导入孔的距离而不同。7.根据权利要求5或6所述的液处理装置，其中，构成所述喷出孔的流路的粗细根据自该喷出孔到所述导入孔的距离而不同。8.根据权利要求5～7中任一项所述的液处理装置，其中，所述贮存室被隔壁分成沿着周向的圆环状的多个缓冲器，该隔壁将该贮存室的内部沿着流体的流动划分成多个区域，所述隔壁设有使被该隔壁隔开的所述缓冲器彼此连通的连通孔。9.根据权利要求8所述的液处理装置，其中，所述隔壁沿着周向设有多个所述连通孔。10.根据权利要求9所述的液处理装置，其中，在所述缓冲器为三个的情况下，在一个所述隔壁设置的所述连通孔的贯通方向和在另一个所述隔壁设置的所述连通孔的贯通方向不在同一直线上排列。11.根据权利要求9或10所述的液处理装置，其中，利用所述导入孔实现的清洗液导入的导入方向与在最上游侧的所述隔壁设置的所述2CN114289224A权利要求书2/2页连通孔的贯通方向不在同一直线上排列。12.根据权利要求5～11中任一项所述的液处理装置，其中，借助所述导入孔向所述贮存室还导入有非活性气体。13.根据权利要求12所述的液处理装置，其中，所述清洗液向所述贮存室的供给和所述非活性气体向所述贮存室的供给同时进行，所述清洗液向所述贮存室的供给流量和所述非活性气体向所述贮存室的供给流量恒定。14.根据权利要求12所述的液处理装置，其中，所述清洗液向所述贮存室的供给和所述非活性气体向所述贮存室的供给同时进行，所述非活性气体向所述贮存室的供给流量恒定，所述清洗液向所述贮存室的供给流量在大流量和小流量之间交替地切换。15.根据权利要求12所述的液处理装置，其中，所述清洗液向所述贮存室的供给和所述非活性气体向所述贮存室的供给同时进行，所述清洗液向所述贮存室的供给流量恒定，所述非活性气