液处理装置及液处理方法.pdf
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液处理装置及液处理方法.pdf
本发明提供一种液处理装置及液处理方法,其能够防止由附着在用于支承喷嘴的喷嘴支承臂上的污垢污染处理室内的基板。液处理装置(10)包括:处理室(20),其在内部设有用于保持基板(W)的基板保持部(21)和配设在该基板保持部(21)的周围的杯(40);喷嘴(82a),其用于向保持在基板保持部(21)的基板W供给流体;喷嘴支承臂,其用于支承喷嘴(82a)。在液处理装置(10)中设有用于对喷嘴支承臂(82)进行清洗的臂清洗部(88)。
液处理装置和液处理方法.pdf
本发明提供一种液处理装置和液处理方法。提供一种在向绕铅垂轴线旋转的晶圆供给清洗液而进行处理的液处理装置中抑制雾向晶圆的再次附着的技术。液处理装置设置有:引导构件(3),其从水平地保持着的晶圆(W)的背面的周缘部朝向外侧下方形成有倾斜面(32);包围构件(2),其形成为包围晶圆(W)的圆筒状,其上缘部朝向内周侧向斜上方伸出,在其内表面侧的比水平地保持着的晶圆(W)的表面高度靠上方的位置在整周上形成有两根槽部(23)。若气流沿着包围构件(2)流动,则气流在槽部(23)中形成涡流,滞留在槽部(23)内,因此,能
杯、液处理装置以及液处理方法.pdf
本发明涉及杯、液处理装置以及液处理方法。抑制从基板飞散的处理液在该杯的内周面向该基板弹回。一种杯,其包围基板以对该基板进行液处理,其中,该杯构成为包括:第1槽,其在所述杯的内周面在纵向上伸长地设置;多个第2槽,其以各自的一端与所述第1槽分别连接的方式设置,在朝向伸长方向观察时的该多个第2槽各自的截面积小于所述第1槽的截面积。
处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质.pdf
本发明提供一种处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质。处理液供给装置具备:供给管路,其连接于喷出部;泵,其设置于供给管路,向喷出部加压输送处理液;第一开闭阀,其设置于供给管路中的泵的下游侧的位置;过滤器,其设置于供给管路中的泵与第一开闭阀之间的位置,对处理液进行过滤;排出管路,其从供给管路中的过滤器与第一开闭阀之间的位置分支出来,用于从供给管路排出处理液;贮存部,其连接于排出管路,用于贮存从供给管路排出的处理液;第二开闭阀,其设置于排出管路;以及控制部,其控制第一开闭阀和第二开闭阀,以使由过滤器过滤后
液处理装置、液供给机构、液处理方法和计算机存储介质.pdf
本发明提供液处理装置、液供给机构、液处理方法和计算机存储介质。对基片上供给处理液来对基片进行液处理的液处理装置包括:保持基片的基片保持部;对被上述基片保持部保持的基片释放处理液的释放嘴;供给处理液的处理液供给源;处理液供给管,其连接于上述处理液供给源,形成有供要被供给到上述释放嘴的处理液流通的供给通路;设置在上述处理液供给管的、进行上述供给通路的开闭动作的调节阀;和控制上述调节阀的控制部,上述调节阀具有隔膜和阀体,控制对上述隔膜的空气的供给,并经由上述隔膜使上述阀体动作,进行上述供给通路的开状态和全闭状态