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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102610488A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102610488A(43)申请公布日2012.07.25(21)申请号201210016401.7(22)申请日2012.01.18(30)优先权数据2011-0080352011.01.18JP2011-2295962011.10.19JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人东岛治郎八谷洋介相浦一博伊藤规宏新藤尚树伊藤优树(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.H01L21/00(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1818页页附图附图1212页(54)发明名称液处理装置及液处理方法(57)摘要本发明提供一种液处理装置及液处理方法,其能够防止由附着在用于支承喷嘴的喷嘴支承臂上的污垢污染处理室内的基板。液处理装置(10)包括:处理室(20),其在内部设有用于保持基板(W)的基板保持部(21)和配设在该基板保持部(21)的周围的杯(40);喷嘴(82a),其用于向保持在基板保持部(21)的基板W供给流体;喷嘴支承臂,其用于支承喷嘴(82a)。在液处理装置(10)中设有用于对喷嘴支承臂(82)进行清洗的臂清洗部(88)。CN102648ACN102610488A权利要求书1/2页1.一种液处理装置,其特征在于,该液处理装置包括:处理室,其在内部设有用于保持基板的基板保持部和配设在该基板保持部的周围的杯;喷嘴,其用于向保持在上述基板保持部的基板供给流体;喷嘴支承臂,其用于支承上述喷嘴;臂清洗部,其用于对上述喷嘴支承臂进行清洗。2.根据权利要求1所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部在上述喷嘴支承臂移动时对该喷嘴支承臂进行清洗。3.根据权利要求1所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部在上述喷嘴支承臂处于退避位置时对该喷嘴支承臂进行清洗。4.根据权利要求2所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部具有用于收容清洗液的收容部分;在上述臂清洗部中,通过一边使上述喷嘴支承臂的一部分接触于被收容在上述收容部分的清洗液、一边使该喷嘴支承臂移动,由此对上述喷嘴支承臂进行清洗。5.根据权利要求4所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部中,在上述喷嘴支承臂的移动方向上的比上述收容部分接近上述处理室的前方位置和比上述收容部分远离上述处理室的后方位置中的至少任意一个位置设有吸引机构。6.根据权利要求4所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部在上述喷嘴支承臂的移动方向上的比上述收容部分远离上述处理室的后方位置具有用于向上述喷嘴支承臂喷射干燥用气体的干燥部件。7.根据权利要求4或5所述的液处理装置,其特征在于,上述喷嘴支承臂在其内部具有用于向上述喷嘴输送流体的配管;在上述臂清洗部中,在上述喷嘴支承臂的移动方向上的比上述收容部分接近上述处理室的前方位置和比上述收容部分远离上述处理室的后方位置中的至少任意一个位置设有用于排出残留在上述喷嘴支承臂内的上述配管中的液体的排液部分;移动上述喷嘴支承臂而使上述喷嘴位于上述排液部分的正上方,从而将残留在上述喷嘴支承臂内的上述配管中的液体从上述喷嘴输送到上述排液部分。8.根据权利要求1~7中任一项所述的液处理装置,其特征在于,该液处理装置还包括与上述处理室相邻地设置的、用于供自该处理室退避的上述喷嘴支承臂待机的臂待机部。9.根据权利要求8所述的液处理装置,其特征在于,上述臂清洗部以位置固定的方式设置在上述处理室中的上述杯与上述臂待机部之间的区域或者上述臂待机部。10.根据权利要求8或9所述的液处理装置,其特征在于,在上述处理室与上述臂待机部之间设有沿铅垂方向延伸的壁;在上述壁上设有能够供上述喷嘴支承臂通过的开口;在上述壁上安装有上述臂清洗部。2CN102610488A权利要求书2/2页11.根据权利要求1~10中任一项所述的液处理装置,其特征在于,该液处理装置还包括圆筒状的杯外周筒,该杯外周筒在上述处理室内配设在上述杯的周围,能够在上方位置和下方位置之间升降,设有能够供上述喷嘴支承臂通过的开口;上述臂清洗部设置在上述杯外周筒的外侧。12.根据权利要求3所述的液处理装置,其特征在于,上述喷嘴支承臂设置为,能够沿其长度方向进退,能够位于使上述喷嘴处于由上述基板保持部保持的基板的上方的进入位置和自该进入位置后退的退避位置;上述臂清洗部具有清洗箱和干燥部件;上述清洗箱构成为包围位于上述退避位置的上述喷嘴支承臂的外周;在上述清洗箱中设有朝向位于上述清洗箱内的上述喷嘴支承臂喷射清洗液的至少一个清洗液喷嘴;上述干燥部件与上述清洗箱相邻,在上述喷嘴支承臂的进退方向上,设置在比上