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功率器件的制备方法和功率器件.pdf
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如灵****姐姐
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本发明提出了一种功率器件的制备方法和一种功率器件，其中，所述制备方法包括：在制备有二极管和功率单元的氧化层保护层上形成光阻层；去除所述功率单元的有源区的所述氧化层保护层上的所述光阻层，并保留所述二极管的静电防护区的所述氧化层保护层上的所述光阻层，以完成所述功率器件的制备过程。通过本发明的技术方案，通过在二极管的静电防护区的氧化层保护层上形成光阻层，避免了在制备功率器件的过程中静电防护区的氧化层保护层的拐角处被刻蚀，从而避免了在二极管的多晶硅基层结构上形成金属硅化物，进而保证了二极管对功率器件的静电防护的功
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