基板收纳容器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106537574A(43)申请公布日2017.03.22(21)申请号201580040567.4(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司720(22)申请日2015.07.2101代理人严志军刘林华(30)优先权数据2014-1518552014.07.25JP(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B65D85/86(2006.01)2017.01.25(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2015/0706552015.07.21(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/013536JA2016.01.28(71)申请人信越聚合物株式会社地址日本国东京都(72)发明人小川统富永公德藤本康大权利要求书1页说明书14页附图20页(54)发明名称基板收纳容器(57)摘要提供能够将容器本体内的空气效率良好地置换为基板用保护气体的基板收纳容器。具备：容器本体1，其能够收纳多片半导体晶片W；供气阀，其对容器本体1内供给吹扫气体；以及气体置换单元40，其将来自供气阀的吹扫气体吹出到容器本体1内，将容器本体1形成为前方开口盒并将供气阀装配于其底板6的后部，由贮留来自供气阀的吹扫气体的壳体41、以及覆盖壳体41的开口了的正面42的盖52构成气体置换单元40，将壳体41的下部以吹扫气体流通的方式连接于供气阀，并且使容器本体1的背面壁18支撑壳体41的上部，在壳体41和盖52中的任一者穿孔将吹扫气体向容器本体1的正面2方向吹出的多个吹出孔55。CN106537574ACN106537574A权利要求书1/1页1.一种基板收纳容器，其具备：容器本体，其能够收纳多片基板；供气阀，其从该容器本体的外部对内部供给基板用保护气体；以及气体置换单元，其将来自该供气阀的基板用保护气体吹出到容器本体的内部，将容器本体形成为前方开口盒并将供气阀安装于其底部后方，其特征在于：气体置换单元包含贮留从供气阀流入的基板用保护气体的壳体部件、以及覆盖该壳体部件的开口面的盖部件，将壳体部件的下部以基板用保护气体流通的方式连接于供气阀，在壳体部件和盖部件中的任一者设有将壳体部件内的基板用保护气体向容器本体的正面方向吹出的多个吹出孔。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，将气体置换单元的壳体部件的开口面作为正面，使该壳体部件的开口了的正面朝向容器本体的正面方向，利用盖部件覆盖壳体部件的正面，且在该盖部件设有多个吹出孔。3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，能够将多片基板在上下方向上排列并收纳于容器本体，对该容器本体的至少背面壁赋予透明性，使气体置换单元的壳体部件在容器本体的上下方向上延伸并使其大小为能够与容器本体的背面壁的至少大部分相向的大小，将壳体部件的内部划分为多个贮留空间，在该多个贮留空间之间形成基板视觉辨认用的观察窗，并且将多个贮留空间的上部之间和下部之间中的至少一者以基板用保护气体流通的方式连通，在气体置换单元的盖部件，形成与壳体部件的观察窗对应的切缺，并在盖部件的纵横方向上排列多个吹出孔。4.根据权利要求1、2、或3所述的基板收纳容器，其特征在于，使容器本体的内部支撑气体置换单元的壳体部件的上部和中央部中的至少任一者。5.根据权利要求2、3、或4所述的基板收纳容器，其特征在于，气体置换单元以在与容器本体的背面壁内表面之间形成空隙的方式配置，包含在容器本体的底部和顶部之中，至少在与顶部之间划分间隙的方式相向的整风板部件，将该整风板部件所划分的间隙与空隙连通以作为气体流通路径，以基板用保护气体不接触位于最下方的基板的下表面的方式调整在盖部件的多个吹出孔之中下方的吹出孔的位置。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，以基板用保护气体不接触位于最上方的基板的上表面的方式调整气体置换单元的多个吹出孔之中上方的吹出孔的位置。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，利用导电材料形成气体置换单元，能够通过该气体置换单元的与容器本体的连接部将气体置换单元的静电接地到容器本体的外部。8.根据权利要求1至8中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，利用导电材料形成气体置换单元并使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，气体置换单元包含介于壳体部件与盖部件之间的通气性的过滤器部件。2CN106537574A说明书1/14页基板收纳容器技术领域[0001]本发明涉及在从容器本体卸下了盖体的状态下将内部的气体置换为基板用保护气体的基板收纳容器。背景技术[0002]以往的FOUP等基板收纳容器如图23、图2