基板收纳容器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114144871A(43)申请公布日2022.03.04(21)申请号201980098710.3(51)Int.Cl.(22)申请日2019.07.25H01L21/673(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.01.21(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2019/0292722019.07.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/014653JA2021.01.28(71)申请人未来儿股份有限公司地址日本东京(72)发明人松鸟千明(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290代理人崔迎宾李雪春权利要求书1页说明书8页附图6页(54)发明名称基板收纳容器(57)摘要本发明提供一种基板收纳容器，具备：容器主体；盖体；能够将基板收纳空间与容器主体的外部的空间连通的通气路(210)；具有将流入通气路(210)的气体向基板收纳空间供给的多个开口部(802)的气体喷出喷嘴部(8)；以及能够使气体以均匀化的流量从多个开口部(802)流出的气体流量均匀化部，气体流量均匀化部具有形成在通气路(210)与开口部(802)之间的分支路(801)，该分支路(801)使来自通气路(210)的气体的流动分支，分支路(801)具有：分支开始部(8011)，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行地流通；以及多个前端侧分支部(8015)，使在分支开始部(8011)中流通的气体分别进一步分支并向开口部(802)流通。CN114144871ACN114144871A权利要求书1/1页1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，且能够封闭所述容器主体开口部；通气路，能够连通所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气路的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有分支路，所述分支路形成在所述通气路与所述开口部之间，使来自所述通气路的气体的流动分支，所述分支路具有：分支开始部，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行流通；以及多个前端侧分支部，使在所述分支开始部中流通的气体分别进一步分支并向所述开口部流通。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，气体的流动方向上的所述分支开始部的上游端部从所述上游端部的入口开口朝上方向延伸。3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述上游端部的入口开口位于从上下方向上的所述气体喷出喷嘴部的中央部的位置偏离的位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述分支开始部分支并与一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度为在所述分支开始部分支并与另一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度的2倍以上。2CN114144871A说明书1/8页基板收纳容器技术领域[0001]本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。背景技术[0002]作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的基板收纳容器，以往已知有具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器(例如参照专利文献1～专利文献3)。[0003]容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳基板。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置于壁部。当未通过盖体封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板的边缘部。[0004]在盖体的一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件。当通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承基板的边缘部。另外，以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承基板的边缘部。当通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部通过与前部保持构件协同动作来支承基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离的排列的状态下保持基板。[0005]专利文献1：日本专利第6431440号公报[0006]专利文献2：日本专利第6367153号公报[0007]专利文献3：日本特表