基板收纳容器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110870054A(43)申请公布日2020.03.06(21)申请号201880004500.9(51)Int.Cl.(22)申请日2018.06.12H01L21/673(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.05.17(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2018/0224612018.06.12(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/239495JA2019.12.19(71)申请人未来儿股份有限公司地址日本东京(72)发明人松鸟千明(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290代理人鹿屹李雪春权利要求书1页说明书12页附图14页(54)发明名称基板收纳容器(57)摘要本发明提供一种基板收纳容器，其中，插销机构包括：卡合用插销(32)；卡合用插销升降凸轮(35)，通过向卡合用插销(32)进退的方向进退，使卡合用插销(32)相对于卡合凹部进退，在卡合凹部内使卡合用插销(32)接近或远离容器主体的另一端部；以及转动凸轮(31)，卡合用插销升降凸轮(35)具有卡合用插销连接部(357)，所述卡合用插销连接部(357)通过向卡合用插销(32)接近卡合凹部的方向移动，使卡合用插销(32)与卡合凹部卡合，此后使卡合用插销(32)接近容器主体的另一端部。CN110870054ACN110870054A权利要求书1/1页1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器包括：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；以及盖体，相对于所述开口周缘部可装拆，能够以被所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部，所述开口周缘部具有至少一对卡合凹部，所述至少一对卡合凹部具有彼此相对的位置关系并与所述盖体相对形成，所述盖体包括：盖体主体；以及至少一对插销机构，所述至少一对插销机构能够在卡合位置和卡合解除位置之间相对于所述盖体主体移动，所述卡合位置是当用所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述至少一对卡合凹部分别卡合并使所述盖体主体相对于所述容器主体固定的位置，所述卡合解除位置是相对于所述卡合凹部的卡合被解除且所述盖体主体相对于所述容器主体的固定被解除的位置，所述插销机构包括：卡合用插销，通过相对于所述卡合凹部进退而卡合或脱离，在所述卡合凹部内接近或远离所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部；卡合用插销升降凸轮，通过向所述卡合用插销进退的方向进退，使所述卡合用插销相对于所述卡合凹部进退，在所述卡合凹部内使所述卡合用插销接近或远离所述容器主体的所述另一端部；以及转动凸轮，通过转动，使所述卡合用插销升降凸轮向所述卡合用插销进退的方向进退，所述卡合用插销升降凸轮具有卡合用插销连接部，所述卡合用插销连接部通过向所述卡合用插销接近所述卡合凹部的方向移动，使所述卡合用插销与所述卡合凹部卡合，此后使所述卡合用插销接近所述容器主体的所述另一端部。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述卡合用插销的前端部设有卡止用辊，所述卡止用辊卡合并卡止于所述卡合凹部。3.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述盖体具有具备盖体外表面和盖体内表面的大致长方形的板状，所述卡合凹部的底部在与所述盖体外表面或所述盖体内表面平行的截面上具有V形，在作为所述卡合用插销的前端部的一部分的、当所述卡合用插销位于所述卡合位置时与形成所述卡合凹部的底部的所述开口周缘部的卡合凹部形成部的部分抵接的部分，具有与所述卡合凹部的底部一致的V形端面。4.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述卡合用插销的前端部由静摩擦系数小的材料构成。5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，通过对所述卡合用插销的前端部实施压花加工而使所述卡合用插销的前端部的静摩擦系数变小。2CN110870054A说明书1/12页基板收纳容器技术领域[0001]本发明涉及在收纳、保管、搬运、运输由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。背景技术[0002]以往，作为收纳由半导体晶片构成的基板并用于在工厂内的工序中搬运的基板收纳容器，具备容器主体和盖体的结构已被公众所知(例如，参照专利文献1～专利文献3)。[0003]容器主体的一端部具有形成了容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能收纳多个基板。盖体相对于开口周缘部可装拆，能封闭容器主体开口部。侧方基板支承部在基板收纳空间内以成对的方式设置于壁部。当未用盖体封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以