基板收纳容器.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115885373A(43)申请公布日2023.03.31(21)申请号202080102706.2(51)Int.Cl.(22)申请日2020.07.10H01L21/673(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.01.03(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0271042020.07.10(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/009430JA2022.01.13(71)申请人未来儿股份有限公司地址日本东京(72)发明人松鸟千明(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290专利代理师崔迎宾李雪春权利要求书1页说明书10页附图12页(54)发明名称基板收纳容器(57)摘要本发明提供一种基板收纳容器，具备：容器主体；盖体，能够相对于容器主体开口部拆装，且能够封闭容器主体开口部；以及部件(81)，安装于容器主体或者盖体，部件(81)与容器主体或盖体或其他部件(82、83)的连接部分具备：压入固定部(8101、8201)，构成为通过压入进行定位而相互固定；以及脉冲熔敷部(8102、8202)，通过脉冲熔敷而形成，维持压入固定部(8101、8201)的定位及固定。CN115885373ACN115885373A权利要求书1/1页1.一种容器主体，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，且能够封闭所述容器主体开口部；以及部件，安装于所述容器主体或所述盖体，所述部件与所述容器主体或所述盖体或其他所述部件的连接部分具备：压入固定部，构成为通过压入进行定位而相互固定；以及脉冲熔敷部，通过脉冲熔敷而形成，维持所述压入固定部的定位及固定。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述压入固定部由凸状部件和供所述凸状部件插入的被插入部构成，所述凸状部件的基部被压入所述被插入部的前端侧部而定位固定，所述凸状部件的基部和所述被插入部的前端侧部构成所述压入固定部，所述凸状部件的前端侧部被脉冲熔敷于所述被插入部的基部，所述凸状部件的前端侧部和所述被插入部的基部构成所述脉冲熔敷部。3.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述压入固定部由凸状部件和供所述凸状部件插入的被插入部构成，所述凸状部件被压入所述被插入部而定位固定，所述凸状部件和所述被插入部构成所述压入固定部，所述凸状部件的前端侧部不构成所述脉冲熔敷部，与所述凸状部件不同的其他部分构成所述脉冲熔敷部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述容器主体具备具有后壁、上壁、下壁以及一对侧壁的壁部，通过所述后壁封闭所述壁部的另一端部，通过所述上壁的一端部、所述下壁的一端部以及所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，所述部件是固定于所述下壁并与所述下壁一起构成所述容器主体的底部的底板。5.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：通气路，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；以及气体喷出喷嘴部，具有向所述基板收纳空间供给流入所述通气路的气体的多个开口部，所述气体喷出喷嘴部由相互连接的多个所述部件构成，多个所述部件的连接部分具有所述压入固定部和所述脉冲熔敷部。2CN115885373A说明书1/10页基板收纳容器技术领域[0001]本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。背景技术[0002]作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，以往已知有具备容器主体以及盖体的结构的基板收纳容器(参照专利文献1～2)。[0003]容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于容器主体开口部拆装，能够封闭容器主体开口部。[0004]在盖体的一部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件(frontretainer)。在通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。另外，里侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置于壁部。里侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部通过与前部保持构件协作来支承多个基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板。[0005]专利文献1：日本特表2005‑530331号公报[0006]专利