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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107815641A(43)申请公布日2018.03.20(21)申请号201711006705.4(22)申请日2017.10.25(71)申请人信利(惠州)智能显示有限公司地址516029广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号(72)发明人苏君海龚建国吴俊雄冉应刚柯贤军李建华(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人叶剑(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)H01L51/56(2006.01)H01L27/32(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称掩膜板(57)摘要本发明涉及一种掩膜板,包括预留区和至少一个有效蒸镀区,所述预留区设置于所述有效蒸镀区的外侧;所述至少一个有效蒸镀区开设有若干第一通孔;所述预留区开设有若干第二通孔,所述第二通孔的形状与所述第一通孔的形状相同,且所述第二通孔的尺寸与所述第一通孔的尺寸相等,且所述第二通孔之间的间距与所述第一通孔之间的间距相等。通过在有效蒸镀区外侧的预留区开设第二通孔,由于第二通孔的形状、尺寸以及间距与第一通孔的形状、尺寸以及间距相同,预留区具有与有效蒸镀区具有相同的力学性能,预留区和有效蒸镀区具有相同的应力特性,使得预留区和有效蒸镀区之间不容易产生褶皱,有效避免像素混色,使得蒸镀效果更佳,提高AMOLED的良率。CN107815641ACN107815641A权利要求书1/1页1.一种掩膜板,其特征在于,包括预留区和至少一个有效蒸镀区,所述预留区设置于所述有效蒸镀区的外侧;所述至少一个有效蒸镀区开设有若干第一通孔;所述预留区开设有若干第二通孔,所述第二通孔的形状与所述第一通孔的形状相同,且所述第二通孔的尺寸与所述第一通孔的尺寸相等,且所述第二通孔之间的间距与所述第一通孔之间的间距相等。2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,各所述第一通孔呈矩形阵列设置,各所述第二通孔呈矩形阵列设置,所述第二通孔的行间距与所述第一通孔的行间距相等,所述第二通孔的列间距与所述第一通孔的列间距相等,且至少部分所述第二通孔与所述第一所述通孔对齐设置。3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述第一通孔的行间距与列间距相等。4.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述有效蒸镀区的形状为方形。5.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述有效蒸镀区的形状为圆形。6.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述有效蒸镀区的形状为不规则形状。7.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第二通孔贯穿所述预留区的两个相对的表面。8.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一通孔和所述第二通孔分别具有圆形截面,且所述第一通孔的孔径和所述第二通孔的孔径相等。9.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一通孔和所述第二通孔分别具有方形截面,且所述第一通孔的宽度和所述第二通孔的宽度相等。10.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一通孔和所述第二通孔分别具有多边形截面,且所述第一通孔的宽度和所述第二通孔的宽度相等。2CN107815641A说明书1/5页掩膜板技术领域[0001]本发明涉及有机发光显示制造技术领域,特别是涉及掩膜板。背景技术[0002]AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode,有源矩阵有机发光二极体)生产制程中最影响良率的制程为蒸镀制程,蒸镀制程的基本过程即通过加热有机材料,使得有机材料蒸发,并通过高精度精细掩膜板蚀刻完成的通孔蒸镀到玻璃基板上,形成发光单元。[0003]高精度精细掩膜板通常通过蚀刻方法制作。高精度精细掩膜板厚度≤40um,由于其厚度较小,因此,传统的高精度精细掩膜板非常柔软,极易变形。为了防止掩膜板变形,目前传统的高精度精细掩膜板的设计方案通常需要在蒸镀的有效区之外设置Dummy(预留)区,通过Dummy区来减少因高精度精细掩膜板在张网力作用下的变形;然而传统的高精度精细掩膜板的设计方案因有效区和Dummy之间会存在不被蚀刻的实体部分,导致高精度精细掩膜板整体的力学性能参数不一样,在张网受力的影响下容易产生褶皱,褶皱的产生会使得蒸镀产品产生混色,混色的产生会严重影响AMOLED的良率。发明内容[0004]基于此,有必要提供一种掩膜板。[0005]一种掩膜板,其特征在于,包括预留区和至少一个有效蒸镀区,所述预留区设置于所述有效蒸镀区的外侧;[0006]所述至少一个有效蒸镀区开设有若干第一通孔;[0007]所述预留区开设有若干第二通孔,所述第二通孔的形状与所述第一通孔的形状相同,且所述第二通孔的尺寸与所述第一通孔的尺寸相等,且