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掩膜板.pdf

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本实用新型涉及一种掩膜板,所述掩膜板包括:掩膜板主体;设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板,所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部,在所述子掩膜板的厚度方向上,所述遮挡部开设有至少一个凹槽,所述凹槽的深度小于所述掩膜板主体的厚度。由于在遮挡部开设有凹槽,且单个凹槽的深度小于掩膜板主体的厚度(凹槽沿厚度方向并非贯穿掩膜板主体),既保证了遮挡部不会存在像素蒸镀到基板上,又减少了遮挡部的厚度,从而使遮挡部的重量减小,使遮挡部的重量与蒸镀区的重量差距小,降低了遮挡部的应力集中,从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀,进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。