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一只****懿呀
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掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板.pdf
本发明涉及一种掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板，掩膜装置包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。掩膜板无需根据不同显示区设置不同的预留区，只需整体进行蚀刻，减少了蚀刻工序，降低了工艺复杂度，掩膜板整体均匀开设通孔，使得掩膜板的各部分的力学性能趋于一致，有效减少形变，能够同时蒸镀
2023-11-19
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本实用新型涉及一种掩膜板,包括掩膜板主体,掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线,第一中心线与第二中心线垂直;开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区,每组蒸镀区包括至少一个蒸镀区,每个蒸镀区开设有凹陷部,每相邻两个蒸镀区之间具有间距,两组蒸镀区关于第一中心线轴对称,且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置,则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同,则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀,降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱,张网精度提高,从而也使
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本发明涉及一种掩膜板，包括预留区和至少一个有效蒸镀区，所述预留区设置于所述有效蒸镀区的外侧；所述至少一个有效蒸镀区开设有若干第一通孔；所述预留区开设有若干第二通孔，所述第二通孔的形状与所述第一通孔的形状相同，且所述第二通孔的尺寸与所述第一通孔的尺寸相等，且所述第二通孔之间的间距与所述第一通孔之间的间距相等。通过在有效蒸镀区外侧的预留区开设第二通孔，由于第二通孔的形状、尺寸以及间距与第一通孔的形状、尺寸以及间距相同，预留区具有与有效蒸镀区具有相同的力学性能，预留区和有效蒸镀区具有相同的应力特性，使得预留区和
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本实用新型涉及一种掩膜板,所述掩膜板包括:掩膜板主体;设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板,所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部,在所述子掩膜板的厚度方向上,所述遮挡部开设有至少一个凹槽,所述凹槽的深度小于所述掩膜板主体的厚度。由于在遮挡部开设有凹槽,且单个凹槽的深度小于掩膜板主体的厚度(凹槽沿厚度方向并非贯穿掩膜板主体),既保证了遮挡部不会存在像素蒸镀到基板上,又减少了遮挡部的厚度,从而使遮挡部的重量减小,使遮挡部的重量与蒸镀区的重量差距小,降低了遮挡部的应力集中,从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀,进
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