掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107653435A(43)申请公布日2018.02.02(21)申请号201711006716.2(22)申请日2017.10.25(71)申请人信利（惠州）智能显示有限公司地址516029广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号(72)发明人苏君海龚建国吴俊雄冉应刚柯贤军李建华(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人叶剑(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)C23C14/12(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图3页(54)发明名称掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板(57)摘要本发明涉及一种掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板，掩膜装置包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。掩膜板无需根据不同显示区设置不同的预留区，只需整体进行蚀刻，减少了蚀刻工序，降低了工艺复杂度，掩膜板整体均匀开设通孔，使得掩膜板的各部分的力学性能趋于一致，有效减少形变，能够同时蒸镀不同形状的显示区，提高玻璃基板的利用率，提高蒸镀效率，能够快速适应产品更新需求。CN107653435ACN107653435A权利要求书1/1页1.一种掩膜装置，其特征在于，包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口与对齐的各所述通孔连通，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通口形状相同。3.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通口中至少有两个所述通口的形状相异。4.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述通口的形状为不规则形状。5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述遮挡件为遮挡膜。6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通孔呈矩形阵列设置。7.一种掩膜组件，其特征在于，包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口与对齐的各所述通孔连通，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。8.根据权利要求7所述的掩膜组件，其特征在于，各所述通口形状相同。9.根据权利要求7所述的掩膜组件，其特征在于，各所述通口中至少有两个所述通口的形状相异。10.一种掩膜板，所述掩膜板的边沿用于与一掩膜框架连接，其特征在于，所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等。2CN107653435A说明书1/9页掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板技术领域[0001]本发明涉及有机发光显示制造技术领域，特别是涉及掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板。背景技术[0002]AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode，有源矩阵有机发光二极体)生产制程中最影响良率的制程为蒸镀制程，蒸镀制程的基本过程即通过加热有机材料，使得有机材料蒸发，并通过高精度精细掩膜板蚀刻完成的通孔蒸镀到玻璃基板上，形成发光单元。蒸镀制程中，蒸发后的有机材料通过掩膜板的有效区的通孔蒸镀到基板上，形成显示屏的AA(AtiveArea，有效显示区域)区，AA区也称显示区，也就是掩膜板的有效区对应显示屏的AA区。[0003]目前传统的掩模板通常设计为Divide(单条的形式)，以对应某一种产品型号，最后再分别将多条的掩模板分别焊接到掩模板框架上，以对应基板的产品排版，此种方式虽能满足目前生产，但在实际中存在如下方面的问题；[0004]1：由于掩模板为单条的形式，在制作掩膜板时，通常需要在掩膜板的蚀刻有效区，并在有效区的周围的不同形状的Dummy(预留区)部分蚀刻，以保证掩模板在张网力的影响下，有效区和预留区的力学性能尽可能一致，减少变形；但此种单条的掩膜板的的制造工艺比较复杂，通常需要多次曝光以分别对应蚀刻出有效区蚀刻孔和预留区的蚀刻孔；[0005]2：掩模板通常需要根据具体的产品型号进行设计，之后再进行刻蚀制造，而由于掩模板制造周期通常比较长，而显示屏的产品型号更新较快，所以此种方法