一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110280534A(43)申请公布日2019.09.27(21)申请号201910567870.XB08B13/00(2006.01)(22)申请日2019.06.27(71)申请人云谷（固安）科技有限公司地址065500河北省廊坊市固安县新兴产业示范区(72)发明人郑立明张迪杨硕(74)专利代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司11606代理人李姣姣(51)Int.Cl.B08B7/00(2006.01)B08B7/02(2006.01)B08B3/08(2006.01)B08B3/12(2006.01)B08B3/14(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法(57)摘要本发明提供一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法，该掩膜版的清洁系统包括燃烧组件和清洗组件；其中，燃烧组件用于对掩膜版施加电流，以使掩膜版上的附着物燃烧形成残留物，燃烧组件包括电源和电极夹具，电极夹具与电源电性连接，用于固定掩膜版；清洗组件用于对掩膜版上的残留物进行清洗。本发明提供的掩膜版的清洁方法，通过电源对掩膜版施加电流，在对掩膜版施加电流的过程中，掩膜版的温度会升高，从而使掩膜版上的纤维附着物达到燃点而燃烧形成残留物，便于有效地完全去除纤维附着物。CN110280534ACN110280534A权利要求书1/1页1.一种掩膜版的清洁系统，其特征在于，包括：燃烧组件，所述燃烧组件用于对所述掩膜版施加电流，以使所述掩膜版上的附着物燃烧形成残留物，所述燃烧组件包括电源和电极夹具，所述电极夹具与所述电源电性连接，用于固定所述掩膜版；清洗组件，所述清洗组件用于对所述掩膜版上的所述残留物进行清洗。2.根据权利要求1所述的掩膜版的清洁系统，其特征在于，所述清洗组件包括清洗液和振荡装置，所述振荡装置浸入所述清洗液中，所述振荡装置用于对所述掩膜版施加振动力，使所述掩膜版上的所述残留物脱落。3.根据权利要求2所述的掩膜版的清洁系统，其特征在于，所述清洗组件上设置有出液口和入液口，所述清洗组件还包括循环泵和过滤装置，所述循环泵和所述过滤装置相互连接，并设置于所述出液口和所述入液口之间，其中，所述过滤装置与所述出液口连接，所述循环泵与所述入液口连接。4.根据权利要求2或3所述的掩膜版的清洁系统，其特征在于，所述振荡装置为超声振荡器。5.根据权利要求1所述的掩膜版的清洁系统，其特征在于，所述燃烧组件上还设有排气装置。6.根据权利要求1所述的掩膜版的清洁系统，其特征在于，所述清洁系统还包括传送组件，所述传送组件用于将带有所述残留物的所述掩膜版由所述燃烧组件传送至所述清洗组件。7.一种掩膜版的清洁方法，其特征在于，包括如下步骤：将所述掩膜版置于清洁系统中，所述清洁系统包括燃烧组件和清洗组件，所述燃烧组件包括电源和电极夹具，所述电极夹具与所述电源电性连接，用于固定所述掩膜版；使用所述电极夹具固定所述掩膜版；接通所述电源，通过所述电源对所述掩膜版施加电流，以使所述掩膜版上的附着物燃烧形成残留物；关闭所述电源，并将所述掩膜版传送至所述清洗组件进行清洗。8.根据权利要求7所述的掩膜版的清洁方法，其特征在于，所述清洗组件包括清洗液和振荡装置，所述振荡装置浸入所述清洗液中；在将所述掩膜版传送至所述清洗组件后，还包括以下步骤：通过调节所述振荡装置的振动强度和频率向所述掩膜版施加振动力，使所述掩膜版上的所述残留物脱落。9.根据权利要求8所述的掩膜版的清洁方法，其特征在于，所述清洗组件上设置有出液口和入液口，所述清洗组件还包括循环泵和过滤装置，所述循环泵和所述过滤装置相互连接并设置于所述出液口和所述入液口之间，其中，所述过滤装置与所述出液口连接，所述循环泵与所述入液口连接；在通过调节所述振荡装置的振动强度和频率向所述掩膜版施加振动力，使所述掩膜版上的所述残留物脱落后，还包括以下步骤：利用所述循环泵和所述过滤装置使所述清洗液由所述清洗组件的出液口流出，并利用所述过滤装置过滤后经由所述循环泵和所述入液口流入所述清洗组件。10.根据权利要求9所述的掩膜版的清洁方法，其特征在于，还包括对利用所述清洗组件清洗后的所述掩膜版进行干燥的步骤。2CN110280534A说明书1/6页一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法技术领域[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法。背景技术[0002]在制造有机发光显示器件时，R、G、B等发光元件的图案形成一般是利用掩膜版通过真空蒸镀法实现的。掩膜版通常由铁镍合金等构成，并由数十μm左右厚度的金属薄板构成。在掩膜版上，作为掩膜图案，由多个微小像素开口以微小间距间隔形成。当蒸镀时，通过从蒸发源使