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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110622304A(43)申请公布日2019.12.27(21)申请号201880032553.1(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司1(22)申请日2018.05.231290代理人王玉玲李雪春(30)优先权数据2017-1102002017.06.02JP(51)Int.Cl.H01L23/50(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L23/28(2006.01)2019.11.15(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2018/0197922018.05.23(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/221340JA2018.12.06(71)申请人株式会社三井高科技地址日本福冈县(72)发明人石桥贵弘权利要求书1页说明书7页附图5页(54)发明名称引线框架、引线框架的制造方法和半导体装置的制造方法(57)摘要本发明提供引线框架、引线框架的制造方法和半导体装置的制造方法,能够容易地将残留在模具浇道中的模制树脂从引线框架剥离。所述引线框架具有安装半导体芯片的正面和与正面相反侧的背面,在所述引线框架上并列设有多个包括芯片垫和多个引线的单位引线框架,背面包括设有单位引线框架的第一部位和作为第一部位以外的部位的第二部位。此外,第一部位具有比正面小的表面粗糙度,此外,第二部位具有比第一部位小的表面粗糙度。CN110622304ACN110622304A权利要求书1/1页1.一种引线框架,其特征在于,所述引线框架具有安装半导体芯片的正面和与所述正面相反侧的背面,在所述引线框架上并列设有多个单位引线框架,所述单位引线框架包括芯片垫和多个引线,所述背面包括:第一部位,设有所述单位引线框架;以及第二部位,是所述第一部位以外的部位,所述第一部位具有比所述正面小的表面粗糙度,所述第二部位具有比所述第一部位小的表面粗糙度。2.根据权利要求1所述的引线框架,其特征在于,在设有所述单位引线框架的部位以外的部位形成有通孔,在将模制树脂往上顶并剥离时使用所述通孔。3.一种引线框架的制造方法,其特征在于,对引线框架的背面上的设有单位引线框架的部位和正面进行粗糙化处理,所述引线框架具有安装半导体芯片的所述正面以及与所述正面相反侧的所述背面,在所述引线框架上并列设有多个所述单位引线框架,所述单位引线框架包括芯片垫和多个引线。4.根据权利要求3所述引线框架的制造方法,其特征在于,所述粗糙化处理是形成表面粗糙度大的氧化膜的电解处理。5.根据权利要求3所述引线框架的制造方法,其特征在于,所述粗糙化处理是形成表面粗糙度大的镀膜的电解处理。6.一种半导体装置的制造方法,其特征在于,所述半导体装置的制造方法包括用模制树脂封装权利要求1或2所述的引线框架的成型工序,并包括以接触所述第二部位的方式配置使所述模制树脂流通的模具浇道。2CN110622304A说明书1/7页引线框架、引线框架的制造方法和半导体装置的制造方法技术领域[0001]本发明涉及引线框架、引线框架的制造方法和半导体装置的制造方法。背景技术[0002]以往,通过使引线框架的表面粗糙化来提高引线框架和模制树脂(moldresin)之间的结合强度的技术已被公众所知(例如参照专利文献1)。[0003]现有技术文献[0004]专利文献1:日本专利公开公报特开平3-295262号[0005]可是,当模具成型时,在作为树脂流道的模具浇道中会残留模制树脂。在将引线框架的表面整体粗糙化的情况下,在模具成型后,难以将残留在所述模具浇道中的模制树脂从引线框架剥离。发明内容[0006]鉴于所述的问题,本发明的目的是提供能够容易地将残留在模具浇道中的模制树脂从引线框架剥离的引线框架、所述引线框架的制造方法和半导体装置的制造方法。[0007]本发明的一个方式的引线框架,其具有安装半导体芯片的正面和与所述正面相反侧的背面,在所述引线框架上并列设有多个单位引线框架,所述单位引线框架包括芯片垫和多个引线,所述背面包括:第一部位,设有所述单位引线框架;以及第二部位,是所述第一部位以外的部位,所述第一部位具有比所述正面小的表面粗糙度,所述第二部位具有比所述第一部位小的表面粗糙度。[0008]按照本发明的一个方式,能够容易地从引线框架剥离残留在模具浇道中的模制树脂。附图说明[0009]图1A是实施方式的引线框架的正面的俯视图。[0010]图1B是实施方式的引线框架的背面的俯视图。[0011]图2A是用于说明实施方式的粗糙化处理装置的图。[0012]图2B是实施方式的粗糙化处理后的引线框架的放大断面图。[0013]图3A是用于说明实施方式的成型工序的放大断面图。[0014]图3B是用于说明实施方式的成型工序的俯视图。[