光掩膜版及其制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111221214A(43)申请公布日2020.06.02(21)申请号201811426610.2(22)申请日2018.11.27(71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司地址266000山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401(72)发明人陈新晋(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219代理人余明伟(51)Int.Cl.G03F1/62(2012.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称光掩膜版及其制作方法(57)摘要本发明提供一种光掩膜版及其制作方法，其中，所述光掩膜版至少包括：版本体，保护膜；其中，所述保护膜可拆卸安装于所述版本体上，以保护所述版本体表面。本发明的光掩膜版及其制作方法，具有以下有益效果：本发明的光掩膜版，保护膜可拆卸安装于版本体上，并且保护膜和版本体之间可根据需要设计制作多种机械连接结构，安装便捷，保护膜破损时更便于拆卸维修；相较于现有技术，不采用胶合方式，而是采用机械连接结构，因而不会出现底胶漏气的问题，也就避免了由于底胶漏气所引起的光掩膜版发雾的问题，同时在保护膜破损需要拆卸维修时，不会因移除残留底胶而造成光掩膜版和清洗机器被污染。CN111221214ACN111221214A权利要求书1/2页1.一种光掩膜版，其特征在于，所述光掩膜版至少包括：版本体，保护膜；其中，所述保护膜可拆卸安装于所述版本体上，以保护所述版本体表面。2.根据权利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜与所述版本体之间相互卡合。3.根据权利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜至少包括：第一薄膜，第二薄膜，第一边框，以及第二边框；其中，所述第一薄膜和所述第二薄膜相对设置，所述第一边框和所述第二边框相对设置，所述第一边框的两端分别连接所述第一薄膜和所述第二薄膜的侧边，所述第二边框的两端分别连接所述第一薄膜和所述第二薄膜的另一侧边，所述第一边框和所述第二边框均具有凸形夹口；其中，所述保护膜通过所述第一薄膜、所述第二薄膜、所述第一边框和所述第二边框的组合形成中空通道，所述版本体从所述保护膜的中空通道插入，且所述版本体的两侧分别与所述第一边框和所述第二边框的凸形夹口通过过盈配合来相互卡合。4.根据权利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜至少包括：第一薄膜，第一边框，以及第二边框；其中，所述第一边框和所述第二边框相对设置，所述第一边框和所述第二边框分别连接在所述第一薄膜的两侧，且所述第一边框和所述第二边框均具有边轨；其中，所述版本体的两侧分别设有与所述第一边框和所述第二边框的边轨相适配的滑道，所述保护膜通过所述第一边框和所述第二边框的边轨同时从所述版本体的两侧滑道滑入，从而使所述保护膜与所述版本体之间相互卡合。5.根据权利要求2所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜至少包括：第一薄膜，第一边框，以及第二边框；其中，所述第一边框和所述第二边框相对设置，所述第一边框和所述第二边框分别连接在所述第一薄膜的两侧，且所述第一边框和所述第二边框上均设有卡勾；其中，所述版本体的两侧分别设有与所述第一边框和所述第二边框上的卡勾相适配的卡槽，所述保护膜覆于所述版本体上，并通过所述第一边框和所述第二边框上的卡勾与所述版本体的卡槽相互卡合。6.根据权利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜与所述版本体之间通过螺纹连接。7.根据权利要求6所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜至少包括：第一薄膜，第一边框，以及第二边框；其中，所述第一边框和所述第二边框相对设置，所述第一边框和所述第二边框分别连接在所述第一薄膜的两侧，且所述第一边框和所述第二边框上均具有螺纹孔；其中，所述版本体的两侧分别设有与所述第一边框和所述第二边框的螺纹孔相适配的螺纹孔，所述版本体分别与所述第一边框和所述第二边框通过所述螺纹孔进行螺纹连接，从而使所述保护膜安装于所述版本体上。8.根据权利要求1所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜与所述版本体之间通过铰链连接。9.根据权利要求8所述的光掩膜版，其特征在于，所述保护膜至少包括：第一薄膜，第一边框，以及第二边框；其中，所述第一边框和所述第二边框相对设置，所述第一边框和所述第二边框分别连接在所述第一薄膜的两侧，所述第一边框具有连接孔，所述第二边框上设有固定扣；其中，所述版本体的一侧设有与所述第一边框的连接孔位置相对应的连接孔，所述版本体与所述第一边框通过所述连接孔进行铰链连接，使所述保护膜可翻转并覆于所述2CN111221214A权利要求书2/2页版本体上，且所述保护膜还通过所述固定扣固定于所述版本体上。10.一种如权利要求1～9任一项所述的光掩膜版的制作方法，其特征在于，所述光掩膜版的制作方法至少包括如