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喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置.pdf
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本发明提供一种喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置，其包括：容纳槽，用于放置显影喷嘴装置；吹扫装置，包括气源、至少一出气口及连接所述气源与所述出气口的输气管路，所述出气口设置在所述容纳槽中，吹扫气体自所述气源沿所述输气管路传输，并自所述出气口吹出，所述吹扫气体能够作用于所述显影喷嘴装置的外表面，以将所述显影喷嘴装置外表面或喷嘴处的液滴去除。本发明的优点在于，喷嘴清扫装置能够去除显影喷嘴装置外表面及喷嘴尖端的残留液滴，避免该液滴显影喷嘴装置移动过程中滴落而影响晶圆的性能。
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