镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113774364A(43)申请公布日2021.12.10(21)申请号202110033945.3(22)申请日2021.01.11(71)申请人宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）地址242074安徽省宣城市安徽省宣城经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构北京箴思知识产权代理有限公司11913代理人李春晖曾晓波(51)Int.Cl.C23C16/52(2006.01)C23C16/50(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称镀膜装置(57)摘要本发明公开一种镀膜装置，通过在待镀膜物品的传送方向上设置跨越待镀膜物品预定停止位置的第一位置传感器，从而能够在预定的停止位置前的制动位置就开始对传送装置进行减速，使其最终停在预定的停止位置；因此待镀膜物品可以以一个较高的速度传送，到达制动位置后进行减速，避免急停，最终停留在预定停止位置附近，提高了定位的精确度，同时又提高了传送的效率；另一方面，第一位置传感器可以设置在和待镀膜物品传送路线同一高度的左右两侧，不单单只是能设置在上下两侧，故而适用范围更广。CN113774364ACN113774364A权利要求书1/2页1.一种镀膜装置，所述镀膜装置包括腔室、传送装置，其特征在于，还包括第一位置传感器和主控模块；所述腔室内设有镀膜组件；所述传送装置用于将待镀膜物品传输至所述腔室进行镀膜，并将镀膜完成后的物品传输出所述腔室；所述第一位置传感器设于相对所述腔室内的传送装置的非镀膜组件侧，且所述第一位置传感器在传输方向上跨越所述待镀膜物品在所述腔室内的预定停止位置，用于检测所述腔室内的待镀膜物品的位置；所述主控模块分别与所述传送装置和所述第一位置传感器电性连接。2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括第二位置传感器，用于检测所述待镀膜物品是否完全进入所述腔室，所述位置传感器设于相对所述腔室内的传送装置的非镀膜组件侧，且相对于所述第一位置传感器位于所述传送路径的上游，所述第二位置传感器与所述主控模块电性连接。3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一位置传感器为光幕传感器，所述光幕传感器的投光器和受光器分别设于所述腔室两相对的外侧壁上，两相对的外侧壁上的相应位置均设置有透光区域。4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述光幕传感器靠近所述腔室的出口，且所述光幕传感器的中心光轴与所述预定停止位置重合。5.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二位置传感器包括成对的检测组件，所述成对的检测组件分别设于所述腔室两相对的外侧壁上，两相对的外侧壁上的相应位置设置有透光区域；所述成对的检测组件包括：信号收发器和信号反射板；或信号发射器和信号接收器。6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜组件包括喷淋电极和下电极，所述喷淋电极和所述下电极分别位于所述待镀膜物品的预定停止位置的上下两侧，所述喷淋电极在所述下电极上的投影覆盖所述待镀膜物品。7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述下电极的下方设有升降装置，所述升降装置驱动所述下电极接近或远离所述待镀膜物品。8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述传送装置包括两旋转电磁线圈和转子，两所述旋转电磁线圈设于所述腔室外，所述转子设于所述腔室内，且所述转子位于两所述旋转电磁线圈之间，所述转子驱动所述待镀膜物品。9.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述腔室的入口和出口分别设有前门阀和后门阀，所述主控模块与所述前门阀和所述后门阀分别电性连接，所述主控模块还用于：在所述第二位置传感器检测到所述待镀膜物品完全进入所述腔室时，控制所述前门阀关闭。10.如权利要求1‑9任一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述主控模块还用于：在所述第一位置传感器检测到所述待镀膜物品时，控制所述传送装置按照预设规则减速传动；和/或2CN113774364A权利要求书2/2页在所述第一位置传感器检测到所述待镀膜物品抵达所述预设停止位置之前的制动位置时，控制所述传送装置按照预设规则减速传动；和/或在所述第一位置传感器检测到所述待镀膜物品的位置抵达超出所述预设停止位置的保护停止位置时，控制所述传送装置立即停止传动；和/或在所述第一位置传感器检测到所述将待镀膜物品的位置超出预设停止位置且超出预设的镀膜误差范围时，控制所述传送装置反向传动。3CN113774364A说明书1/6页镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及PECVD镀膜领域，特别涉及一种镀膜装置。背景技术[0002]目前的镀膜系统，其载板定位方式大多采用在镀膜室的上下两侧垂直的设置两个传感器，根据两个传感器光通量