镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102653854A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102653854A(43)申请公布日2012.09.05(21)申请号201110051076.3(22)申请日2011.03.03(71)申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人吴佳颖廖名扬(51)Int.Cl.C23C14/22(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称镀膜装置(57)摘要一镀膜装置，其包括腔体及收容于腔体内的转盘、工件挂具及靶体。工件挂具包括一定位轴、两偏心轮、一保持架、两往复轴及一承载板。定位轴及保持架设于转盘上，且彼此能相对转动，两偏心轮轴心沿定位轴轴向固定在定位轴上，且偏心方向相反，各偏心轮边缘设有一环形滑槽。保持架收容偏心轮及定位轴，定位轴固定于转盘上，保持架随转盘转动且能自转，两往复轴分别对应两偏心轮滑动设置于保持架上，各往复轴一端可滑动地卡合于偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于承载板的端部，当保持架相对定位轴转动，两偏心轮分别驱动两往复轴沿定位轴径向作往复运动，且两往复轴的运动方向相反。通过往复轴带动承载板两端部交替靠近靶体，提高两侧镀膜均匀性。CN10265384ACN102653854A权利要求书1/1页1.一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，其特征在于，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各偏心轮的边缘设有一环形滑槽，所述保持架收容所述偏心轮及所述定位轴，所述定位轴固定连接于所述转盘上，所述保持架随所述转盘一起转动且能够沿保持架自身中心轴转动，所述两个往复轴分别对应所述两个偏心轮滑动设置于所述保持架上，所述各往复轴一端可滑动地卡合于所述偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于所述承载板一端部，当所述保持架相对所述定位轴转动时，所述两个偏心轮分别驱动所述两个往复轴沿所述定位轴的径向作往复运动，且所述两个往复轴的运动方向相反。2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一偏心轮与所述第二偏心轮的外廓为正圆。3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述保持架包括第一环形架、第二环形架及连接件，所述连接件连接于所述第一环形架及所述第二环形架之间，所述第一环形架及所述第二环形架分别套设于所述第一偏心轮及所述第二偏心轮外侧，所述第一环形架及所述第二环形架分别相对所述第一偏心轮及所述第二偏心轮的环形滑槽开设轴孔。4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述往复轴是一圆柱轴。5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述往复轴包括滑动部、枢接部及轴体，所述滑动部及所述枢接部相对固定于所述轴体两端，所述滑动部卡合于所述环形滑槽内，在所述环形滑槽内滑动，所述枢接部与所述承载板一端转动连接。6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述滑动部及所述枢接部螺接于所述轴体两端。7.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述滑动部是一T型滑块结构，所述枢接部是一转轴结构。8.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载板包括底面，所述底面的两端设置有两个连接部，所述连接部与所述往复轴的枢接部转动连接。9.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，所述连接部是与所述往复轴的枢接部相配合的开口轴套结构。2CN102653854A说明书1/3页镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及一种镀膜装置。背景技术[0002]现有的镀膜设备为了镀膜均匀，通常将待镀工件悬挂在一旋转挂具上，该旋转挂具固定在一转盘上，并通过传动机构与转盘连接。在镀膜机镀膜时，该旋转挂具与转盘一同转动，同时该旋转挂具绕其自身中心轴自转，以提高镀膜的均匀性。[0003]然而，由于工件在旋转挂具的轴向方向上具有一定高度，所以工件的上下侧的膜层厚度仍然有一定差异，从而产生工件膜层厚度不均匀的问题。发明内容[0004]有鉴于此，有必要提供一种用于提高膜层均匀性的镀膜装置。[0005]一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各