镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109355627A(43)申请公布日2019.02.19(21)申请号201811432487.5(22)申请日2018.11.28(71)申请人北京铂阳顶荣光伏科技有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室(72)发明人辛科杨立红(74)专利代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司11606代理人刘葛(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图1页(54)发明名称镀膜装置(57)摘要本申请涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括顺次连通的第一缓冲室、真空蒸镀室、第二缓冲室、至少一个第一传动轮组、基板支撑轮组以及至少一个第二传动轮组。第一传动轮组设置于第一缓冲室，且与第一缓冲室内壁相切以对第一缓冲室形成密封。第一传动轮组转动以将基板传输至密闭的第一缓冲室。基板支撑轮组设置于真空蒸镀室，用于承接并支撑由第一缓冲室传输至第二缓冲室。第二传动轮组设置于第二缓冲室且与第二缓冲室内壁相切以对第二缓冲室形成密封。镀膜装置通过设置第一传动轮组与第一缓冲室内壁密封、第二传动轮组与第二缓冲室内壁密封，实现了基板在整个传输过程中的腔室密封。CN109355627ACN109355627A权利要求书1/2页1.一种镀膜装置，用于在基板(100)表面连续镀膜，其特征在于，包括：顺次连通的第一缓冲室(20)、真空蒸镀室(30)和第二缓冲室(40)；以及至少一个第一传动轮组(50)，设置于所述第一缓冲室(20)，至少一个所述第一传动轮组(50)与所述第一缓冲室(20)的内壁相切，且至少有两个切点，所述第一传动轮组(50)将所述第一缓冲室(20)与外界隔开，且将所述基板(100)传送至所述第一缓冲室(20)；基板支撑轮组(500)，设置于所述真空蒸镀室(30)，用于支撑传输所述基板(100)并使其在所述真空蒸镀室(30)内均匀镀膜；至少一个第二传动轮组(60)，设置于所述第二缓冲室(40)，至少一个所述第二传动轮组(60)与所述第二缓冲室(20)的内壁相切，且至少有两个切点，所述第二传动轮组(50)将所述第二缓冲室(20)与外界隔开，且将所述基板(100)由所述第二缓冲室(20)输出。2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于，所述第一传动轮组(50)包括两个第一传动轮(510)；所述第一传动轮(510)分别与所述第一缓冲室(20)的至少一个内壁相切，且相切于第一切点(501)；两个所述第一传动轮(510)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙，以夹持固定所述基板(100)，所述第一传动轮(510)相背运动以将所述基板(100)传输至所述第一缓冲室(20)。3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一缓冲室(20)的内壁包括前壁(211)和至少一个第一侧壁(212)，所述第一侧壁(212)沿着所述基板(100)的运动方向延伸，所述第一切点(501)位于所述前壁(211)和/或所述第一侧壁(212)。4.如权利要求2或3所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一传动轮(510)包括轮毂(511)和密封圈(512)，所述密封圈(512)套设于所述轮毂(511)的表面。5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二传动轮组(60)包括两个第二传动轮(610)，每个所述第二传动轮(610)分别与所述第二缓冲室(20)的至少一个内壁相切，且相切于第三切点(601)；两个所述第二传动轮(610)之间设有可供所述基板(100)传输的缝隙，以夹持固定所述基板(100)，两个所述第二传动轮(610)相背运动，以将所述基板(100)由所述第二缓冲室(40)输出。6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包括：至少一个第三传动轮组(70)，所述第三传动轮组(70)设置于所述第一缓冲室(20)，且位于所述第一传动轮组(50)与所述真空蒸镀室(30)之间，所述第三传动轮组(70)用于支撑传输所述基板(100)；所述第三传动轮组(70)包括两个第三传动轮(710)，两个所述第三传动轮(710)之间设有可供所述基板(100)通过的缝隙，以夹持固定所述基板(100)。7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，每个所述第三传动轮(710)分别与所述第一侧壁(212)相切，以将所述第三传动轮组(70)与所述真空蒸镀室(30)之间的所述第一缓冲室(20)部分分隔为多个相邻的子腔室(210)。8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空蒸镀室(30)还包括：依次设置的催化蒸镀室(310)、镀膜蒸镀室(320)和表面处理室(330)，所述催化蒸镀室2CN109355627A权利要