镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115244228A(43)申请公布日2022.10.25(21)申请号202180003911.8(51)Int.Cl.(22)申请日2021.02.25C25D17/06(2006.01)C25D7/12(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.12.13(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2021/0070242021.02.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/180727JA2022.09.01(71)申请人株式会社荏原制作所地址日本东京都(72)发明人辻一仁大渊真志下山正(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227专利代理师康晓宇权利要求书2页说明书13页附图15页(54)发明名称镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法(57)摘要本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法。本发明提供一种能够抑制因滞留在基板的被镀覆面的气泡而导致基板的镀覆品质变差的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)，存积镀覆液，并且在内部配置有阳极(11)；基板保持件(30)，配置于比阳极靠上方的位置，将作为阴极的基板保持为基板的被镀覆面朝向下方，并且具有比基板的被镀覆面的外周缘向下方突出的环(31)；旋转机构(40)，使基板保持件旋转；以及升降机构(50)，使基板保持件升降，在环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起(35)。CN115244228ACN115244228A权利要求书1/2页1.一种镀覆装置，其中，具备：镀覆槽，存积镀覆液，并且在内部配置有阳极；基板保持件，配置于比所述阳极靠上方的位置，将作为阴极的基板保持为所述基板的被镀覆面朝向下方，并且具有比所述基板的所述被镀覆面的外周缘向下方突出的环；旋转机构，使所述基板保持件旋转；以及升降机构，使所述基板保持件升降，在所述环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起。2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其中，所述突起由板部件构成，所述板部件具有从所述环的下表面的内周侧朝向外周侧延伸的轴线。3.根据权利要求2所述的镀覆装置，其中，在所述突起的轴线与所述环的内周面的切线所成的角度，即在所述基板保持件向一个方向旋转的情况下的所述基板保持件的旋转方向上从所述轴线的一侧朝向所述切线的一侧测量时的所述角度为0°以上且小于20°的情况下，所述旋转机构使所述基板保持件以100rpm以上旋转，在所述角度为20°以上且小于60°的情况下，所述旋转机构使所述基板保持件以40rpm以上旋转，在所述角度为60°以上且120°以下的情况下，所述旋转机构使所述基板保持件以25rpm以上旋转，在所述角度比120°大且为160°以下的情况下，所述旋转机构使所述基板保持件以25rpm以上旋转，在所述角度比160°大且为180°以下的情况下，所述旋转机构使所述基板保持件以100rpm以上旋转。4.根据权利要求3所述的镀覆装置，其中，所述角度为60°以上且160°以下。5.根据权利要求4所述的镀覆装置，其中，所述旋转机构使所述基板保持件以30rpm以上旋转。6.根据权利要求1～5中任一项所述的镀覆装置，其中，所述突起的个数为多个。7.根据权利要求3所述的镀覆装置，其中，所述突起的个数为多个，多个所述突起包括：第一突起，在所述基板保持件正转的情况下的所述基板保持件的旋转方向上从所述轴线的一侧朝向所述切线的一侧测量时的所述角度为60°以上且160°以下；和第二突起，在所述基板保持件反转的情况下的所述基板保持件的旋转方向上从所述轴线的一侧朝向所述切线的一侧测量时的所述角度为60°以上且160°以下，所述旋转机构构成为在对所述基板的所述被镀覆面实施镀覆处理的镀覆处理时，使所述基板保持件正转及反转分别至少进行一次。8.根据权利要求1～7中任一项所述的镀覆装置，其中，还具备：2CN115244228A权利要求书2/2页至少一个供给口，设置于所述镀覆槽的外周壁，向所述镀覆槽供给镀覆液；和至少一个排出口，以与所述供给口对置的方式设置于所述镀覆槽的所述外周壁，将所述镀覆槽的镀覆液吸入并从所述镀覆槽排出，所述供给口及所述排出口构成为所述排出口吸入从所述供给口供给的镀覆液，从而在所述镀覆槽中的所述基板的所述被镀覆面的下方形成沿着所述被镀覆面的镀覆液的剪切流。9.根据权利要求1～7中任一项所述的镀覆装置，其中，还具备流动机构，在将所述基板的所述被镀覆面浸渍于镀覆液之前，所述流动机构使所述镀覆槽的镀覆液流动，以使所述镀覆槽的中央的镀覆液的液面向上方涌起，在所述镀覆槽的中央的镀覆液的液面向上方涌起的状态下，所述升降机构使所述基板保持件下降，由此使所述基板的所述被镀覆面的中央比所述被镀覆面的外周缘先接触镀覆液。1