镀覆装置以及镀覆方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917056A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202280004862.4C25D17/08(2006.01)(22)申请日2022.01.31C25D21/10(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.05(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2022/0035262022.01.31(71)申请人株式会社荏原制作所地址日本东京都(72)发明人下山正増田泰之樋渡良辅(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227专利代理师姜越(51)Int.Cl.C25D17/00(2006.01)C25D7/12(2006.01)权利要求书2页说明书14页附图22页(54)发明名称镀覆装置以及镀覆方法(57)摘要本发明提供镀覆装置以及镀覆方法。能够在所希望的时机对基板的特定的部位进行遮蔽，并且提高镀覆膜厚的均匀化。镀覆模块包括：镀覆槽(410)，其用于收容镀覆液；阳极(430)，其配置于镀覆槽(410)内；基板支架(440)，其用于在将被镀覆面(Wf‑a)朝向下方的状态下对基板(Wf)进行保持；旋转机构(447)，其构成为使基板支架(440)向第1方向以及与第1方向相反的第2方向旋转；以及遮蔽机构(485)，其根据基板支架(440)的旋转角度使遮蔽部件(481)向阳极(430)与基板(Wf)之间移动。CN115917056ACN115917056A权利要求书1/2页1.一种镀覆装置，其特征在于，包括：镀覆槽，所述镀覆槽用于收容镀覆液；阳极，所述阳极配置于所述镀覆槽内；基板支架，所述基板支架用于在将被镀覆面朝向下方的状态下对基板进行保持；旋转机构，所述旋转机构构成为使所述基板支架向第1方向以及与所述第1方向相反的第2方向旋转；以及遮蔽机构，所述遮蔽机构根据所述基板支架的旋转角度使遮蔽部件向所述阳极与所述基板之间移动。2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，所述遮蔽机构构成为在被所述基板支架保持的基板的特定的部位的旋转角度位于规定的范围内时，使所述遮蔽部件向所述阳极与所述基板的特定的部位之间移动，所述旋转机构构成为在所述基板的特定的部位的旋转角度位于规定的范围内时，使所述基板支架的旋转方向在所述第1方向与所述第2方向之间切换。3.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，所述旋转机构构成为在所述基板的特定的部位的旋转角度位于规定的范围内时，使所述基板支架的旋转方向在所述第1方向与所述第2方向之间切换多次。4.根据权利要求1～3中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，所述遮蔽机构包括：凸轮部件；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构构成为使所述凸轮部件旋转；以及从动部件，所述从动部件构成为伴随着所述凸轮部件的旋转而将所述遮蔽部件向所述阳极与所述基板之间的遮蔽位置推出。5.根据权利要求4所述的镀覆装置，其特征在于，所述凸轮部件具有构成为通过所述旋转驱动机构而旋转的凸轮主体、和安装于所述凸轮主体的转动件，所述从动部件包括从动滑块，所述从动滑块具有供所述转动件嵌入的凸轮槽，所述从动滑块构成为通过与所述凸轮主体的旋转相伴的来自所述转动件的按压，使所述遮蔽部件在所述遮蔽位置与退避位置之间直动，所述退避位置从所述阳极与所述基板之间分离。6.根据权利要求4所述的镀覆装置，其特征在于，所述遮蔽机构进一步包括卷绕于第1带轮以及第2带轮的带，所述凸轮部件包括与所述第2带轮连结的偏心凸轮部件，所述旋转驱动机构构成为通过使所述第1带轮旋转而使所述偏心凸轮部件旋转，所述从动部件包括从动凸轮部件，所述从动凸轮部件构成为根据被所述偏心凸轮部件的突起按压而将所述遮蔽部件向所述遮蔽位置推出。7.根据权利要求1～3中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，所述遮蔽机构包括直动驱动机构，所述直动驱动机构构成为使所述遮蔽部件在所述阳极与所述基板之间的遮蔽位置、和退避位置之间直动，所述退避位置从所述阳极与所述基板之间分离。8.根据权利要求1～3中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，2CN115917056A权利要求书2/2页所述遮蔽机构包括安装于所述基板支架的凸轮部件、和根据被所述凸轮部件的突起按压而将所述遮蔽部件向所述阳极与所述基板之间推出的从动节。9.一种镀覆方法，其特征在于，包括：下降步骤，在该步骤中，使在将被镀覆面朝向下方的状态下对基板进行保持的基板支架向镀覆槽内下降；镀覆步骤，在该步骤中，对下降到所述镀覆槽内的基板的所述被镀覆面实施镀覆处理；第1旋转步骤，在该步骤中，使所述基板支架向第1方向旋转；第2旋转步骤，在该步骤中，使所述基板支架向与所述第1方向相反的第2方向旋转；以及遮蔽步骤，在该步骤中，根据所述基板支架的旋转角度使遮蔽部件向阳极与基板之间移动。10