基板切断装置及基板切断装置的作动方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115483124A(43)申请公布日2022.12.16(21)申请号202110835068.1(22)申请日2021.07.23(30)优先权数据1101217252021.06.15TW(71)申请人博磊科技股份有限公司地址中国台湾新竹县(72)发明人赖能辉(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限公司11355专利代理师谢琼慧秦小耕(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/78(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图15页(54)发明名称基板切断装置及基板切断装置的作动方法(57)摘要一种基板切断装置及基板切断装置的作动方法，所述基板切断装置适用于在封装基板被切断成多个封装体后对所述封装体进行检查。所述基板切断装置包含第一载台、第一摄影模块、第二摄影模块、第一干燥模块、第二干燥模块、传送手臂，及活动承载台。所述第一干燥模块与所述第二干燥模块可以吹干所述封装体，因此能避免洗剂残留，进而提升检测精度。所述基板切断装置的作动方法能应用于前述基板切断装置，使得所述活动承载台不需在作动过程中进行翻转，从而避免吸附力不足的问题且易于进行空间规划。CN115483124ACN115483124A权利要求书1/2页1.一种基板切断装置，适用于在封装基板被切断成多个封装体后对所述封装体进行检查，每一个封装体包含待检查的第一表面及相反于所述第一表面的第二表面，所述基板切断装置包含第一载台、第一摄影模块、第二摄影模块、第一干燥模块、第二干燥模块、传送手臂，及活动承载台，其特征在于：定义前后轴向及垂直于所述前后轴向的上下轴向，所述第一摄影模块设置于所述第一载台后方且由下往上拍摄；所述第二摄影模块，设置于所述第一摄影模块后方且由上往下拍摄；所述第一干燥模块，沿所述前后轴向设置于所述第一载台与所述第一摄影模块之间且由下往上吹送气流；所述第二干燥模块，沿所述前后轴向设置于所述第一摄影模块与所述第二摄影模块之间且由上往下吹送气流；所述传送手臂，能沿所述前后轴向移动且能沿所述上下轴向升降；所述活动承载台，能沿所述前后轴向移动；所述传送手臂能在第一位置、第二位置、第三位置，及第四位置之间移动，在所述第一位置时，所述传送手臂位于所述第一载台上方且远离所述第一载台，在所述第二位置时，所述传送手臂位于所述第一载台上方且趋近所述第一载台，在所述第三位置时，所述传送手臂位于所述第一摄影模块上方且远离所述第一摄影模块，在所述第四位置时，所述传送手臂位于所述第一摄影模块上方且趋近所述第一摄影模块，所述活动承载台能在第五位置及第六位置之间移动，在所述第五位置时，所述活动承载台位于所述第一摄影模块上方，在所述第六位置时，所述活动承载台位于所述第二摄影模块下方。2.根据权利要求1所述的基板切断装置，其特征在于：所述传送手臂具有埋设于内部的加热模块。3.根据权利要求1所述的基板切断装置，其特征在于：还包含设置于所述第一摄影模块上方并用于侦测所述活动承载台是否位于所述第五位置的第一传感器，及设置于所述第二摄影模块下方并用于侦测所述活动承载台是否位于所述第六位置的第二传感器。4.根据权利要求1所述的基板切断装置，其特征在于：所述第一干燥模块包括第一吹风组件，及第一气体加热组件，所述第二干燥模块包括第二吹风组件，及第二气体加热组件。5.一种基板切断装置的作动方法，其特征在于：包含下列步骤：(A)制备一种基板切断装置，适用于在封装基板被切断成多个封装体后对所述封装体进行检查，每一个封装体包含待检查的第一表面及相反于所述第一表面的第二表面，所述基板切断装置包含：第一载台，第一摄影模块，定义前后轴向及垂直于所述前后轴向的上下轴向，所述第一摄影模块设置于所述第一载台后方且由下往上拍摄，第二摄影模块，设置于所述第一摄影模块后方且由上往下拍摄，第一干燥模块，沿所述前后轴向设置于所述第一载台与所述第一摄影模块之间且由下往上吹送气流，第二干燥模块，沿所述前后轴向设置于所述第一摄影模块与所述第二摄影模块之间且2CN115483124A权利要求书2/2页由上往下吹送气流，传送手臂，能沿所述前后轴向移动且能沿所述上下轴向升降，及活动承载台，能沿所述前后轴向移动，所述传送手臂能在第一位置、第二位置、第三位置，及第四位置之间移动，在所述第一位置时，所述传送手臂位于所述第一载台上方且远离所述第一载台，在所述第二位置时，所述传送手臂位于所述第一载台上方且趋近所述第一载台，在所述第三位置时，所述传送手臂位于所述第一摄影模块上方且远离所述第一摄影模块，在所述第四位置时，所述传送手臂位于所述第一摄影模块上方且趋近所述第一摄影模块，所述活动承载台能在第五位置及第六位置之间移动，在所述第五位置时，所述活动承载台位于所述