处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115513089A(43)申请公布日2022.12.23(21)申请号202210610418.9(22)申请日2022.05.31(30)优先权数据2021-0951472021.06.07JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人矢野英嗣(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277专利代理师刘新宇(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质(57)摘要本发明提供一种处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质。处理液供给装置具备：供给管路，其连接于喷出部；泵，其设置于供给管路，向喷出部加压输送处理液；第一开闭阀，其设置于供给管路中的泵的下游侧的位置；过滤器，其设置于供给管路中的泵与第一开闭阀之间的位置，对处理液进行过滤；排出管路，其从供给管路中的过滤器与第一开闭阀之间的位置分支出来，用于从供给管路排出处理液；贮存部，其连接于排出管路，用于贮存从供给管路排出的处理液；第二开闭阀，其设置于排出管路；以及控制部，其控制第一开闭阀和第二开闭阀，以使由过滤器过滤后的处理液不会在供给管路中的比第一开闭阀靠上游侧的部分处停留规定时间以上。CN115513089ACN115513089A权利要求书1/2页1.一种处理液供给装置，向对基板喷出处理液的喷出部供给所述处理液，所述处理液供给装置具备：供给管路，其连接于所述喷出部；泵，其设置于所述供给管路，向所述喷出部加压输送所述处理液；第一开闭阀，其设置于所述供给管路中的所述泵的下游侧的位置；过滤器，其设置于所述供给管路中的所述泵与所述第一开闭阀之间的位置，所述过滤器对所述处理液进行过滤；排出管路，其从所述供给管路中的所述过滤器与所述第一开闭阀之间的位置分支出来，所述排出管路用于从所述供给管路排出所述处理液；贮存部，其连接于所述排出管路，所述贮存部用于贮存从所述供给管路排出的所述处理液；第二开闭阀，其设置于所述排出管路；以及控制部，其中，所述控制部控制所述第一开闭阀和所述第二开闭阀，以使由所述过滤器过滤后的所述处理液不会在所述供给管路中的比所述第一开闭阀更靠上游侧的部分处停留规定时间以上。2.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，还具备：吹扫用管路，该吹扫用管路的上游侧端连接于所述贮存部，且下游侧端连接于所述供给管路中的所述第一开闭阀与所述喷出部之间的位置；以及第三开闭阀，其设置于所述吹扫用管路。3.根据权利要求2所述的处理液供给装置，其中，在满足规定的条件时，所述控制部控制所述第一开闭阀至所述第三开闭阀，以向所述喷出部供给所述贮存部中贮存的所述处理液。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的处理液供给装置，其特征在于，所述贮存部的容量大于所述过滤器的容量。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的处理液供给装置，其特征在于，在所述第一开闭阀持续所述规定时间地不为打开状态时，所述控制部控制所述第一开闭阀和所述第二开闭阀，以向所述排出管路排出所述过滤器内的全部的处理液。6.根据权利要求1～3中的任一项所述的处理液供给装置，其特征在于，还具备回流管路，该回流管路的一端从所述供给管路中的所述过滤器与所述第一开闭阀之间的位置分支出来，另一端连接于所述供给管路中的所述泵的上游侧的位置，所述回流管路与所述供给管路中的包括所述泵和所述过滤器的部分一起构成所述处理液的循环路径。7.根据权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于，还具备其它贮存部，该其它贮存部设置于所述供给管路，用于贮存向所述泵送出的处理液，所述回流管路的所述另一端连接于所述其它贮存部。8.根据权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于，还具备第四开闭阀，该第四开闭阀设置于所述回流管路。2CN115513089A权利要求书2/2页9.一种处理液供给方法，是使用处理液供给装置来向对基板喷出处理液的喷出部供给所述处理液的处理液供给方法，其中，所述处理液供给装置具备：供给管路，其连接于所述喷出部；泵，其设置于所述供给管路，所述泵向所述喷出部加压输送所述处理液；第一开闭阀，其设置于所述供给管路中的所述泵的下游侧的位置；过滤器，其设置于所述供给管路中的所述泵与所述第一开闭阀之间的位置，所述过滤器对所述处理液进行过滤；排出管路，其从所述供给管路中的所述过滤器与所述第一开闭阀之间的位置分支出来，所述排出管路用于从所述供给管路排出所述处理液；贮存部，其连接于所述排出管路，所述贮存部用于贮存从所述供给管路排出的所述处理液；以及第二开闭阀，其设置于所述排出管路，所述处理液供给方法包括以下工序：控制所述第一开闭阀和所述第二开闭阀，以使由所述过滤器过滤