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处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置.pdf
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慧娇****文章
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本发明提供处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置，与供给装置的工作无关地使配管内的处理液不会残留或滞留，从而可以防止细菌污染处理液并提高处理液的回收率，并提高所处理的基板的质量。本发明包括：用于喷射处理液的处理液喷射部；用于对储存在处理液储存槽中的处理液进行加压并将其提供给处理液喷射部的处理液供给部；将处理液供给部和处理液喷射部连接的配管模块，配管模块包括：与处理液供给部连接的主管部；从主管部分支的多个分支管部；从分支管部分支并与处理液喷射部连接的多个排出管部，分支管部包括第一配管、第二配管、
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