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杯、液处理装置以及液处理方法.pdf

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本发明涉及杯、液处理装置以及液处理方法。抑制从基板飞散的处理液在该杯的内周面向该基板弹回。一种杯,其包围基板以对该基板进行液处理,其中,该杯构成为包括:第1槽,其在所述杯的内周面在纵向上伸长地设置;多个第2槽,其以各自的一端与所述第1槽分别连接的方式设置,在朝向伸长方向观察时的该多个第2槽各自的截面积小于所述第1槽的截面积。