传送装置及晶圆制作设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115966494A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202111169632.7(22)申请日2021.10.08(71)申请人长鑫存储技术有限公司地址230011安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号(72)发明人陈信宏黄焱誊(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司11205专利代理师黄溪刘芳(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称传送装置及晶圆制作设备(57)摘要本申请提供一种传送装置及晶圆制作设备，涉及半导体加工设备技术领域，用于解决传送装置的传送可靠性低的问题，该传送装置包括多个传动轮、环形的传送带和监测机构，传送带套设在多个传动轮上；监测机构包括第一监测单元，第一监测单元位于传送带的沿转动轴向的一侧，且第一监测单元面向传送带，第一监测单元被配置为监测传送带在传动轮的径向上是否位于预设区域之外，其中，预设区域的边界在传动轮的径向上与传送带在张紧状态下的轨迹之间设有预设间距。该晶圆制作设备包括上述传送装置。本申请能够提高传送装置的传送可靠性。CN115966494ACN115966494A权利要求书1/2页1.一种传送装置，其特征在于，包括：多个传动轮、环形的传送带和监测机构，所述传送带套设在多个所述传动轮上；所述监测机构包括第一监测单元，所述第一监测单元位于所述传送带的沿转动轴向的一侧，且所述第一监测单元面向所述传送带，所述第一监测单元被配置为监测所述传送带在所述传动轮的径向上是否位于预设区域之外，其中，所述预设区域的边界在所述传动轮的径向上与所述传送带在张紧状态下的轨迹之间设有预设间距。2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述预设区域位于相邻两个所述传动轮之间，且所述传送带位于相邻两个所述传动轮之间的部分在张紧状态下的轨迹位于所述预设区域内部。3.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述第一监测单元包括摄像头，所述预设区域的边界位于所述摄像头的拍摄区域内。4.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述第一监测单元包括激光扫描装置，所述激光扫描装置的激光扫描线形成所述预设区域的边界。5.根据权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述第一监测单元还包括与所述摄像头电连接的第一图像处理器，所述第一图像处理器根据所述摄像头采集到的图像，确定所述传送带在所述传动轮的径向上是否位于所述预设区域之外。6.根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于，所述摄像头在沿所述传送带的转动轴向上的投影位于所述传送带环绕而成的形状的中心部位。7.根据权利要求1‑6中任一项所述的传送装置，其特征在于，所述监测机构还包括至少一个第二监测单元，所述第二监测单元位于所述传送带沿所述传动轮的径向的一侧，所述第二监测单元面向所述传送带的带表面，所述第二监测单元被配置为监测所述传送带的带表面缺陷状态，其中，所述带表面缺陷状态包括裂纹的数量和大小中的至少一者。8.根据权利要求7所述的传送装置，其特征在于，所述第二监测单元为至少两个，至少两个所述第二监测单元沿环形的所述传送带的延伸方向间隔排布。9.根据权利要求8所述的传送装置，其特征在于，所述第二监测单元包括图像采集器和第二图像处理器，所述图像采集器与所述第二图像处理器电连接，所述图像采集器用于采集所述传送带的表面图像，所述第二图像处理器用于将采集的所述表面图像与预设图像进行比对。10.根据权利要求9所述的传送装置，其特征在于，所述图像采集器包括摄像头或者相机中的一者。11.根据权利要求9所述的传送装置，其特征在于，所述监测机构还包括第三监测单元，所述第三监测单元位于所述传送带的一侧并与所述传送带抵接，所述第三监测单元被配置为监测所述传送带的张紧力。12.根据权利要求11所述的传送装置，其特征在于，所述第三监测单元包括张紧力监测传感器，所述张紧力监测传感器用于监测所述传送带的张紧力的大小。13.根据权利要求12所述的传送装置，其特征在于，所述第三监测单元还包括计算分析模块，所述计算分析模块根据所述传送带的张紧力和所述第二监测单元监测的所述传送带的表面裂纹状态以判断所述传送带的危险截面。14.根据权利要求13所述的传送装置，其特征在于，所述监测机构还包括报警单元，所2CN115966494A权利要求书2/2页述报警单元与所述第一监测单元、第二监测单元以及第三监测单元电连接，当所述传送带在所述传动轮的径向上位于预设区域之外，或者，所述传送带的表面裂纹的数量或者大小大于所述预设图像上的表面缺陷的数量或者大小，又或者，第二监测单元检测到所述传送带的危险截面时，所述报警单元报警。15.一种晶圆制作