质谱用涡轮分子泵控制电路.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102278320A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102278320A(43)申请公布日2011.12.14(21)申请号201010193975.2(22)申请日2010.06.08(71)申请人江苏天瑞仪器股份有限公司地址215300江苏省昆山市巴城镇苇城南路1666号天瑞大厦(72)发明人胡晓斌张坤(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人曹毅(51)Int.Cl.F04D27/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称质谱用涡轮分子泵控制电路(57)摘要本发明公开了一种质谱用涡轮分子泵控制电路，其包括一上位机PC，所述上位机PC通过一通信接口连接一FPGA模块，所述FPGA模块连接一模数转换芯片模块；其还包括一控制电路模块，所述控制电路模块接电源模块，所述控制电路模块包括一涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路、一涡轮分子泵报错电路、一涡轮分子泵转速信号检测电路以及一涡轮分子泵状态检测电路；所述FPGA模块还连接这所述涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路和涡轮分子泵报错电路，所述模数转换芯片模块还连接着所述涡轮分子泵转速信号检测电路。该控制电路控制简单只需要几个TTL电平信号就可以完成涡轮分子泵的控制。CN102783ACCNN110227832002278324A权利要求书1/1页1.一种质谱用涡轮分子泵控制电路，其包括一上位机PC(1)，所述上位机PC(1)通过一通信接口(2)，其特征在于，所述通信接口(2)连接一FPGA模块(3)，所述FPGA模块(3)连接一模数转换芯片模块(4)；其还包括一控制电路模块(6)，所述控制电路模块(6)接电源模块(5)，所述控制电路模块(6)包括一涡轮分子泵启动电路(601)、一Standby模式启动电路(602)、一涡轮分子泵报错电路(603)、一涡轮分子泵转速信号检测电路(604)以及一涡轮分子泵状态检测电路(605)；所述FPGA模块(3)还连接着所述涡轮分子泵启动电路(601)、一Standby模式启动电路(602)和涡轮分子泵报错电路(603)，所述模数转换芯片模块(4)还连接着所述涡轮分子泵转速信号检测电路(604)。2.根据权利要求1所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述涡轮分子泵启动电路(601)包括一继电器(60101)，所述继电器(60101)的一输入端Turbopump_EN端接一上拉电阻R1(60102)然后连接至所述FPGA模块(3)，用于接收控制继电器(60101)的通断信号，所述继电器(60101)的K1的一端接涡轮分子泵启动控制引脚Vacuum_EN，所述继电器(60101)的K1的另一端连接涡轮分子泵控制信号的高电平参考电压Ref_V，所述继电器(60101)还反向并接一二极管D1(60103)。3.根据权利要求2所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述继电器(60101)和上拉电阻R1(60102)接24V电压。4.根据权利要求1所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：Standby模式启动电路(602)包括一光耦PC1(60201)，所述光耦PC1(60201)的Standby_En端接一上拉电阻R4(60202)然后连接至所述FPGA模块(3)，所述光耦PC1(60201)的Standby端通过一电阻R5(60203)连接涡轮分子泵控制信号的高电平参考电压Ref_V。5.根据权利要求4所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述上拉电阻R4(60202)接3.3V电压。6.根据权利要求1所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述涡轮分子泵报错电路(603)包括一光耦PC2(60301)，所述光耦PC2(60301)的Alarm端接所述上拉电阻R6(60302)然后连接至所述FPGA模块(3)，所述光耦PC2(60301)的Alarm_in端接所述上拉电阻R7(60303)然后连接至所述FPGA模块(3)。7.根据权利要求6所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述上拉电阻R6(60302)接涡轮分子泵控制信号的高电平参考电压Ref_V，所述上拉电阻R7(60303)接3.3V电压。8.根据权利要求1所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述涡轮分子泵转速信号检测电路(604)的Speed_Back采集涡轮分子泵的转速，所述所述涡轮分子泵转速信号检测电路(604)的Speed_ADC端接所述模数转换芯片模块(4)。9.根据权利要求2、4、7中任意一项所述的质谱用涡轮分子泵控制电路，其特征在于：所述涡轮分子泵控制信号的高电平参考电压Ref_V为24V。10.根据权利要求1至8中