带有同轴的涡轮分子泵和增压泵的质谱检漏仪.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109312754A(43)申请公布日2019.02.05(21)申请号201780035452.5(74)专利代理机构深圳中一联合知识产权代理(22)申请日2017.06.13有限公司44414代理人张全文(30)优先权数据102016210701.12016.06.15DE(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01M3/20(2006.01)2018.12.10F04D29/10(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2017/0644342017.06.13(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/216173DE2017.12.21(71)申请人英福康有限责任公司地址德国科隆(72)发明人维尔纳·格罗塞·布莱托马斯·博姆亚尔马尔·布鲁恩斯权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称带有同轴的涡轮分子泵和增压泵的质谱检漏仪(57)摘要本发明涉及一种质谱检漏仪，包括：多级涡轮分子泵(12)，连接到所述涡轮分子泵(12)的吸入侧的质谱仪(17)，连接到所述涡轮分子泵(12)的压力侧的初级真空泵(18)，以及增压泵级(24)，其中，所述增压泵级(24)的吸入侧具有用于待测试对象的连接器(28)，所述增压泵级(24)的压力侧通过气体管线路径(22)连接到所述涡轮分子泵(12)的所述压力侧和所述初级真空泵(18)的吸入侧。其特征在于：所述涡轮分子泵(12)的泵级(30，32)和所述增压泵级设置在同一个轴上并具有共同的驱动器(34)；以及隔离件(36)中断在适于连接到所述测试对象的所述增压泵级的所述压力侧与连接到所述质谱仪(17)的所述涡轮分子泵(12)的泵级的吸入侧之间的气体传导路径。CN109312754ACN109312754A权利要求书1/1页1.质谱检漏仪，包括：多级涡轮分子泵(12)，连接到所述涡轮分子泵(12)的吸入侧的质谱仪(17)，连接到所述涡轮分子泵(17)的压力侧的前级泵(18)，以及增压泵级(24)，其中，所述增压泵级(24)的吸入侧具有用于待测试对象的连接器(28)，所述增压泵级(24)的压力侧通过气体传导路径(22)连接到所述涡轮分子泵(12)的所述压力侧和所述前级泵(18)的吸入侧；其特征在于：所述涡轮分子泵(12)的泵级(30，32)和所述增压泵级设置在同一个轴上并具有共同的驱动器(34)；以及隔离件(36)中断在适于连接到所述测试对象的所述增压泵级的所述压力侧与连接到所述质谱仪(17)的所述涡轮分子泵级(12)的泵级的所述吸入侧之间的气体传导路径。2.如权利要求1所述的检漏仪，其特征在于，所述涡轮分子泵(12)具有两级设计。3.如权利要求1或2所述的检漏仪，其特征在于，所述涡轮分子泵(12)的所述泵级和所述增压泵级(24)共同形成真空泵。4.如权利要求1-3中的一项所述的检漏仪，其特征在于，所述驱动器(34)设置于所述涡轮分子泵(12)的一端，位于所述泵级和所述前级泵(18)之间。5.如权利要求1-4中的一项所述的检漏仪，其特征在于，所述涡轮分子泵(12)的所述泵级的其中一个为分子泵级(32)，且所述涡轮分子泵(12)包括至少一个涡轮分子泵级(30)。6.如权利要求1-5中的一项所述的检漏仪，其特征在于，所述增压泵级(24)是涡轮分子泵级。7.如权利要求1-6中的一项所述的检漏仪，其特征在于，所述隔离件(36)是沿着所述轴封闭所述气体传导路径(22)的密封件，所述轴的扭矩可通过所述密封件传递。8.如权利要求7所述的检漏仪，其特征在于，所述密封件由铁磁流体密封件形成。9.如权利要求1-6中的一项所述的检漏仪，其特征在于，所述隔离件(36)由一个分离泵级(38)形成，其中，所述分离泵级的吸入侧连接到所述质谱仪(17)，所述分离泵级的压力侧连接到所述增压泵级(24)的所述压力侧以及与所述质谱仪(17)相连的所述涡轮分子泵(12)的所述泵级的压力侧。10.如权利要求9所述的检漏仪，其特征在于，所述分离泵级(38)是分子泵级或涡轮分子泵级。2CN109312754A说明书1/3页带有同轴的涡轮分子泵和增压泵的质谱检漏仪[0001]本发明涉及一种带有多级涡轮分子泵和增压泵的质谱检漏仪。[0002]质谱检漏仪使用常用的多级涡轮分子泵将测试对象或围绕测试对象的测试室抽空，并且将气流供应给质谱仪以分析所抽取的气体，这里仅将所抽取气体的一部分供应给质谱仪。例如，DE19735250A1中描述了这种质谱检漏仪。氦气通常用作泄漏检测的测试气体。[0003]已知通过给这种质谱检漏仪的连接到测试对象或测试室的气体传导路径提供一个增压泵，可实现测试对象或测试室的更快