涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102326002A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102326002A(43)申请公布日2012.01.18(21)申请号201080009031.3(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事(22)申请日2010.02.05务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(30)优先权数据2009-0413182009.02.24JP(51)Int.Cl.2009-2518012009.11.02JPF04D19/04(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2011.08.23(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0516862010.02.05(87)PCT申请的公布数据WO2010/098192JA2010.09.02(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府申请人东京毅力科创株式会社(72)发明人关田幸照久保田和马守屋刚菅原荣一权利要求书2页说明书7页附图13页(54)发明名称涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器(57)摘要本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：转子(30)，其形成有多层旋转叶片(32)且能够进行高速旋转；多个固定叶片(33)，它们在泵轴线方向上与旋转叶片(32)交替配置；泵外壳(34)，其用于容纳旋转叶片(32)及固定叶片(33)且形成有进气口(21a)；圆盘(150)，其设在靠近转子(30)的进气口侧的位置上且以与比转子(30)的旋转叶片根部靠近内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体(153a、153b)，其配置在进气口(21a)和转子(30)之间且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体(153a、153b)的内部。CN10236ACCNN110232600202326015A权利要求书1/2页1.一种涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与上述旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳上述旋转叶片及固定叶片，且在该泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与上述转子的进气口一侧接近的位置，且该圆盘以与上述转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体，其配置在上述进气口和上述转子之间，且由细线编织而成，将被上述转子弹起的颗粒捕捉到上述网眼结构体的内部。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：多个板状的网眼结构体，它们相对于上述圆筒状的网眼结构体呈放射状配置，且该网眼结构体与泵进气口垂直。3.一种涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与上述旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳上述旋转叶片及固定叶片，且在上述泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与上述转子的进气口一侧接近的位置上，且该圆盘以与上述转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；网眼结构体，其沿上述泵外壳的内壁设置，该网眼结构体由细线编织而成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：保护网，其包括上述圆盘和以包围该圆盘的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口的异物进入到上述泵外壳内。5.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其中，上述网眼结构体是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。6.根据权利要求1至5中任一项所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由不锈钢细线构成。7.根据权利要求1至5中任一项所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由二氧化硅的比例为6％～10％的硅酸铝纤维构成。8.一种涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：壳体，其具有用于与涡轮分子泵的进气口法兰相连接的第1法兰和用于与真空装置侧的排气口法兰相连接的第2法兰；圆筒状的网眼结构体，其配置在上述壳体内，且由细线编织而成，使得在该网眼结构体的内部捕捉被上述涡轮分子泵的转子弹起的颗粒。9.根据权利要求8所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：圆盘，其以与上述涡轮分子泵的转子上表面相面对的方式配置在上述第1法兰侧，且该圆盘的直径尺寸小于等于上述涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径。10.根据权利要求8所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：保护网，其包括直径尺寸小于等于上述涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径的圆2CCNN110232600202326015A权利要求书2/2页形区域和以包围该圆形区域的周围的方式进行设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口法兰的异物进入到涡轮分子泵内。11.根据权利要求8至10中任一项所述的涡轮分子泵用