涡轮分子泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103671138103671138A(43)申请公布日2014.03.26(21)申请号201310360459.8(22)申请日2013.08.15(30)优先权数据2012-1985082012.09.10JP(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地(72)发明人筒井慎吾(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)F04D29/52(2006.01)F04D29/58(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书7页说明书7页附图5页附图5页(54)发明名称涡轮分子泵(57)摘要本发明是有关于一种涡轮分子泵，本发明的课题在于延缓因转子的温度上升而引起的蠕变速度。涡轮分子泵(1)在外壳构件(11)的内部包括转子翼(6)、定子翼(7)及间隔片(20)。使自最上段起第6段的间隔片(20a)的外周侧延伸至为大气压侧的外部侧，而形成到达基座(13)的上表面的冷却用厚壁部(21)。在冷却用厚壁部(21)设置冷却管(52)，另外，使冷却用厚壁部(21)的内周侧面与第7段、第8段间隔片(20)的外周侧面接触，而予以保持。通过在冷却管(52)内循环的冷却媒体，经由冷却用厚壁部(21)，使间隔片(20)、定子翼(7)及转子翼(6)冷却。CN103671138ACN103678ACN103671138A权利要求书1/1页1.一种涡轮分子泵，其特征在于其包括：外壳构件；转子，收纳于所述外壳构件内，且具有多段地排列的转子翼；转子轴，与所述转子同轴地设置；多个定子翼，设置于所述外壳构件的内面，且配置于所述转子翼之间；及多个间隔片，支撑所述各定子翼；且所述多个间隔片中的一个具有覆盖在上方或者下方所邻接的至少一个所述间隔片的外周侧面的冷却用厚壁部；在所述冷却用厚壁部设置着使冷却媒体循环的冷却管。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于其中所述冷却用厚壁部的外周侧面的至少一部分自所述外壳构件露出，且在该露出的部分设置着所述冷却管。3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于其中所述外壳构件具有上外壳与基座，所述冷却用厚壁部固定于所述上外壳与所述基座之间。4.根据权利要求3所述的涡轮分子泵，其特征在于其中所述冷却用厚壁部的外周侧面的一部分由所述上外壳而覆盖。5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的涡轮分子泵，其特征在于其中位于所述冷却用厚壁部的下方侧的所有所述间隔片的外周侧面由所述冷却用厚壁部而覆盖。2CN103671138A说明书1/7页涡轮分子泵技术领域[0001]本发明涉及一种包括多段地设置的转子(rotor)翼、设置于转子翼之间的定子(stator)翼、及支撑定子翼的间隔片(spacer)的涡轮分子泵(turbo-molecularpump)。。背景技术[0002]实现高真空或者超高真空的涡轮分子泵是通过由转子翼与定子翼所构成的翼排气部，将自吸气口侧吸入的气体分子排出至排气埠(port)侧。高速旋转的转子翼与气体分子碰撞时所产生的摩擦热自转子翼经由定子翼而传递至外壳(case)构件。[0003]如果具有转子翼的转子因摩擦热而变成高温，那么蠕变(creep)的速度会变快，所以在外壳构件设置冷却管，使冷却媒体在冷却管内循环而冷却涡轮分子泵(例如，参照专利文献1)。[0004]背景技术文献[0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2006-90623号公报[0007]近年来，在半导体装置的制造等中，晶片(wafer)变得大型化，而有导入至处理腔室(processchamber)内的气体的流量增大的趋势。如果气体的流量增大，那么转子翼中的摩擦热会变大，而使转子变成高温。因此，仅在外壳构件设置冷却管会使转子超过容许温度，而使蠕变的速度变快。发明内容[0008]本发明的涡轮分子泵包括：外壳构件；转子，收纳于外壳构件内，且包括多段地排列的转子翼；转子轴，与转子同轴地设置；多个定子翼，设置于外壳构件的内面，且配置于转子翼之间；及多个间隔片，支撑各定子翼；且多个间隔片中的一个具有覆盖在上方或者下方所邻接的至少一个间隔片的外周侧面的冷却用厚壁部；在冷却用厚壁部设置着使冷却媒体循环的冷却管。[0009][发明的效果][0010]根据本发明，可经由设置于间隔片的冷却用厚壁部的冷却管使转子充分地冷却，所以可延缓转子的蠕变的速度。附图说明[0011]图1是表示本发明的涡轮分子泵的一实施方式的剖视图。[0012]图2是对比表示现有品与实施例中的间隔片及转子的温度分布的图。[0013]图3是表示本发明的涡轮分子泵的实